[发明专利]一种弯管过滤式涂层机在审
| 申请号： | 202010691091.3 | 申请日： | 2020-07-17 |
| 公开（公告）号： | CN111809156A | 公开（公告）日： | 2020-10-23 |
| 发明（设计）人： | 王俊锋;袁明;王锋 | 申请（专利权）人： | 广东鼎泰机器人科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/56 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 袁敏怡 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及涂层设备技术领域，尤其是指一种弯管过滤式涂层机，其包括控制柜、真空泵、真空容器、若干个靶材离化机构和若干个离子发生机构；真空容器设置有真空内腔；靶材离化机构包括安装座、引弧机构、驱动机构、靶材夹头机构、冷却机构和真空管机构，真空管机构包括弧形管组件和多组直管组件；弧形管组件和直管组件均包括内管、外管、第一连接块、第二连接块和多个锁紧件。本申请的涂层机的靶材离化机构通过两种冷却方式分别对靶材夹头机构所夹紧的离化靶材和真空管机构进行冷却，大大地提高了靶材离化机构的冷却效果。同时，靶材夹头机构设置有一段弧形管组件，弧形管组件具有一定的弧度，增加本申请的涂层机的过滤效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弯管 过滤 涂层 | ||
【主权项】：
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