[发明专利]功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法有效
| 申请号： | 202010621064.9 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN111720599B | 公开（公告）日： | 2021-01-19 |
| 发明（设计）人： | 赵梁玉;王艾琳;王兴刚;周明 | 申请（专利权）人： | 强一半导体（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | F16K17/06 | 分类号： | F16K17/06;G01R1/067;G01R31/26 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明一种功率器件测试探针卡用弹簧式泄压结构及其安装标定方法属于半导体器件测试技术领域；泄压孔底部还设置有调节阀，包括三层阶梯，下层阶梯的截面直径大于泄压孔截面直径，中层阶梯的截面直径与泄压孔截面直径为间隙配合关系，上层阶梯套有螺纹；泄压孔内壁攻有螺纹，并旋拧有调整件，调整件包括接触端，连接端和螺纹端，接触端为环形，外壁套有螺纹，旋拧在泄压孔的内壁，连接端为多个，每个连接端均连接在接触端内壁与螺纹端之间，螺纹端外壁套有螺纹，弹簧分别连接在上层阶梯外壁与螺纹端外壁之间；本发明应用于功率器件高温高压测试探针卡，能够同时抑制高电压环境下探针之间非正常放电和高温度环境下探针卡翘曲变形和探针位置漂移。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 器件 测试 探针 弹簧 式泄压 结构 及其 安装 标定 方法 | ||
【主权项】：
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