[发明专利]基板扫边处理工序及基板加工处理方法有效
| 申请号： | 202010581079.7 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN111805307B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 古海裕;许亮;赖振风;王士敏;朱泽力 | 申请（专利权）人： | 深圳莱宝高科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00;B24B9/02;B24B29/02;B24B57/04;B24B51/00 |
| 代理公司： | 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 | 代理人： | 周伟锋 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种基板扫边处理工序，包括以下步骤：S10、控制抛光轮从起点沿垂直于待处理基板的边缘的第一方向靠近待处理基板的边缘；S20、控制抛光轮按照设定的切入量切入待处理基板的边缘；S30、控制抛光轮从切入点沿垂直于第一方向的第二方向朝待处理基板的边缘的目标点移动；S40、控制抛光轮沿第二方向返回切入点；S50、控制抛光轮沿第一方向从切入点返回起点，完成一次扫边动作。还提供了一种基板加工处理方法。本申请提供基板扫边处理工序及基板加工处理方法通过控制抛光轮在完成每次扫边动作的过程中沿第一方向Y往复移动的距离相同，确保每次扫边动作的切入量相同，从而有效地解决了小片型基板进行扫边处理时难以确保边缘的平整性的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基板扫边 处理 工序 加工 方法 | ||
【主权项】：
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