[发明专利]图案曝光装置、光束扫描装置、及图案描绘装置

摘要

本发明的光束扫描装置，是一边将光束的点光投射于对象物的被照射面、一边进行该点光于该被照射面上沿扫描线的一维扫描，其具备：射入光束的入射光学构件、将来自入射光学构件的光束为进行扫描而加以偏向的扫描用偏向构件、射入经偏向的光束后投射于被照射面的投射光学系、以及支承入射光学构件、扫描用偏向构件及投射光学系、可绕与照射中心轴在既定容许范围内成同轴的第1旋转中心轴旋转的支承架，该照射中心轴系相对该被照射面垂直通过以该点光的扫描在该被照射面上形成的扫描线的中点。