[发明专利]液处理装置、液处理方法以及存储介质有效
| 申请号： | 202010500719.7 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN112058529B | 公开（公告）日： | 2023-08-18 |
| 发明（设计）人： | 若水信也 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | B05B9/04 | 分类号： | B05B9/04;B05B12/04;G03F7/16;H01L21/027 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种对于缩短处理液的送液时间有效的液处理装置、液处理方法以及存储介质。液处理装置具备：至少三个泵，其分别进行接收处理液的接收动作和将接收到的处理液向同一管路喷出的喷出动作；后级泵，其进行接收被喷出到同一管路的处理液的接收动作和喷出接收到的处理液的喷出动作；以及送液控制部，其重复进行以下控制：使三个泵中的任意两个泵执行喷出动作，以及使喷出了处理液的两个泵按照顺序执行接收动作。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 装置 方法 以及 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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