[发明专利]基于二氧化钛光子晶体的氮化镓基面激光器及制备方法有效
| 申请号： | 202010475784.9 | 申请日： | 2020-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN111641107B | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 刘启发;刘美玉;许涵蕾;徐嘉琪;皇甫甜 | 申请（专利权）人： | 南京邮电大学 |
| 主分类号： | H01S5/183 | 分类号： | H01S5/183;H01S5/343 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 210012 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于二氧化钛光子晶体的面发射型氮化镓基激光器及制备方法，包括蓝宝石衬底层、n‑GaN层、n‑AlGaN层、波导n‑GaN层、n‑电极、InGaN/GaN成对组成的多层量子阱有源层、p‑GaN层、p‑电极、TiO |
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| 搜索关键词： | 基于 氧化 光子 晶体 氮化 镓基面 激光器 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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