[发明专利]采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器在审
| 申请号： | 202010465180.6 | 申请日： | 2020-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN111928996A | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 王侠;王晓伟;赵凯 | 申请（专利权）人： | 上海利方达真空技术有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/32 | 分类号： | G01L21/32 |
| 代理公司： | 北京卫平智业专利代理事务所(普通合伙) 11392 | 代理人： | 张新利;谢建玲 |
| 地址： | 201822 上海市嘉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种采用非蒸散型吸气剂泵的激光空间滤波器，它由入光真空管道(1)、出光真空管道(2)、滤波小孔组件(3)、入光透镜(4)、出光透镜(5)组成一个密闭的真空腔体，在入光真空管道和出光真空管道的法兰上分别安装吸气剂泵(7)和分体式真空阀(6)、冷阴极电离规(8)。使用时将干泵分子泵机组(9)和分体式真空阀(6)连接，对腔体抽取真空，真空度达到1E |
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| 搜索关键词： | 采用 蒸散 吸气 激光 空间 滤波器 | ||
【主权项】：
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