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[发明专利]用于压力传感器组的运行方法-CN202080107930.0在审
发明人： C·贝格;R·恩德尔斯;M·威斯特;B·安德烈奥斯 -专利权人： 英福康有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： G01L9/00 文献下载
摘要：一种用于运行压力传感器组的方法(100)，其中所述组包括至少一个具有第一压力测量范围的第一压力传感器和具有第二压力测量范围的第二压力传感器，其中第一压力传感器和第二压力传感器被布置为使得所述第一压力传感器和第二压力传感器能够测量共同测量容积中的压力，其中第一压力测量范围和第二压力测量范围在重叠压力测量范围中重叠，并且其中所述方法包括步骤：aa)在共同测量容积中的压力处于重叠压力测量范围中期间，基本上同时读出(101)第一压力传感器的第一测量信号和第二压力传感器的第二测量信号；bb)将所读出的第一测量信号规定(102)为用于第二压力传感器的调节点；cc)根据第一测量信号、根据在步骤bb)中规定的调节点并且根据第二测量信号为第二压力传感器确定(103)至少一个校准参数、尤其是与气体相关的校准参数。此外，本发明涉及用于运行真空工艺设施的方法、用于执行所述方法的设备和计算机程序产品。
用于压力传感器运行方法

[发明专利]用于运行一组压力传感器的方法-CN202080106250.7在审
发明人： B·安德烈奥斯;R·恩德雷斯;C·贝格;M·威斯特 -专利权人： 英福康有限公司
申请日： 2020-10-14 - 公布日： 2023-06-30 - 主分类号： G01L21/12 文献下载
摘要：用于运行一组(1)压力传感器的方法，所述压力传感器被布置，使得所述压力传感器能够测量共同的测量体积(2)中的压力，其中该组压力传感器至少包括具有第一压力测量范围的第一压力传感器(1')和具有第二压力测量范围的第二压力传感器(1”)，其中第一和第二压力测量范围在重叠压力测量范围中重叠，其中第一和第二压力传感器各基于间接压力测量原理并且被设立用于输出根据参考气体被校准的测量信号，并且其中该方法包括以下步骤：a)提供用于第一测量信号和用于第二测量信号的气体类型特定的校准数据，所述校准数据分别描述第一和第二测量信号对有效压力和对气体类型列表的依赖性；b)分别记录第一和第二测量信号的第一和第二测量值；c)确定结果气体类型，该结果气体类型在考虑第一和第二校准数据的情况下最佳地匹配于所记录的第一测量值和所记录的第二测量值的组合。在一个变型方案中附加地确定不依赖于气体类型的结果压力。此外，本发明涉及用于执行该方法的设备以及计算机程序产品。
用于运行一组压力传感器方法

[发明专利]用于确定压力测量单元中的压力的方法以及测量单元装置-CN202080097005.4在审
发明人： F·穆利斯 -专利权人： 英福康有限公司
申请日： 2020-02-18 - 公布日： 2022-11-25 - 主分类号： G01L9/12 文献下载
摘要：说明了用于确定压力单元（2）中的压力的方法和测量单元装置，其中所述方法在于，确定测量信号（x），所述测量信号至少与所述压力单元（2）中的所测量的压力成比例，并且利用具有低通滤波特性的第一滤波器单元（10）对所述测量信号（x）进行滤波，用于产生输出信号（y），其中所述第一滤波器单元（10）的低通滤波特性由第一阻尼因数（α1）定义。该方法的特征在于，利用具有低通滤波特性的第二滤波器单元（20）对从所述输出信号（y）和所述测量信号（x）之间的差中得出的输入差（x_diff）进行滤波，用于确定输出差，其中所述第二滤波器单元（20）的低通滤波特性由第二阻尼因数（α2）定义，并且基于所述第二滤波器单元（20）的输出差确定所述第一滤波器单元（10）的第一阻尼因数（α1）。
用于确定压力测量单元中的方法以及装置

[发明专利]确定压力的方法和压力传感器-CN201980100546.5在审
发明人： C·斯特里策尔;U·瓦奇利;S·凯瑟尔;C·里施;B·安德烈奥斯;M·维德尔 -专利权人： 英福康有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： G01L21/32 文献下载
摘要：一种用于确定真空系统中的压力的方法，其中所述方法包括以下步骤：a）在样品室中产生（101）等离子体，所述样品室与所述真空系统流体动态连接并且与第一电极和第二电极电接触；b）测量（102）在所述第一电极和所述第二电极之间流过所述等离子体的电流的电流强度；c）测量（103）从所述等离子体发射的第一波长范围的电磁辐射的第一辐射强度，其中所述第一波长范围包含第一化学元素的第一等离子体物质的至少一个第一发射线；d）测量（104）从所述等离子体发射的第二波长范围的电磁辐射的第二辐射强度，其中所述第二波长范围包含所述第一化学元素的第一等离子体物质的第二发射线或所述第一化学元素的第二等离子体物质的第二发射线，以及其中所述第二发射线位于所述第一波长范围外；以及e）根据所测量的电流强度、所测量的第一辐射强度和所测量的第二辐射强度确定（105）所述真空系统中的压力。
确定压力方法压力传感器

[发明专利]真空密封的电气馈通装置-CN201980100548.4在审
发明人： S·凯瑟尔;B·安德烈奥斯 -专利权人： 英福康有限公司
申请日： 2019-09-20 - 公布日： 2022-04-15 - 主分类号： G01L21/34 文献下载
摘要：真空密封的电气馈通装置（10），包括：‑电绝缘的绝缘体元件（2），所述绝缘体元件具有通孔（23），具有与所述通孔邻接的第一边界面（21）并且具有同样与所述通孔邻接的、与所述第一边界面相对的第二边界面（22），和‑导电的导体元件（1），所述导体元件延伸穿过所述通孔（23）并且所述导体元件沿着所述导体元件（1）的周边线以真空密封的方式与所述绝缘体元件（2）连接，其中所述绝缘体元件（2）对于光学波长范围中的电磁辐射（25）是可透射的，以及其中所述第一（21）和/或所述第二（22）边界面构成为曲面，尤其构成为凸形或凹形面。此外，本发明涉及一种具有真空密封的电气馈通装置的真空压力传感器和一种用于测量电磁辐射的辐射强度的方法。
真空密封电气装置

[发明专利]用箔室内运载气体进行无泄漏测试-CN201580064453.3有效
发明人：丹尼尔·韦齐希;西尔维奥·德克尔 -专利权人： 英福康有限公司
申请日： 2015-11-25 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： G01M3/32 文献下载
摘要：一种对箔室(10)中的测试物体(16)进行无泄漏测试的方法，所述箔室(10)包括至少一个柔性壁区域(12，14)，所述方法包括：利用测试物体中含有的气体或气体组分作为进行所述无泄漏测试的测试气体；将测试物体引入所述箔室；排空所述箔室，使得压力低于测试物体内的测试气体压力并低于大气压力；将运载气体引入所述箔室内所述测试物体之外的区域；测量所述箔室内所述测试物体之外的区域形成的气体混合物的测试气体浓度。
室内运载气体进行泄漏测试

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