[发明专利]吸气合金及其应用、吸气靶材及吸气薄膜有效
| 申请号： | 202110445026.7 | 申请日： | 2021-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN113136504B | 公开（公告）日： | 2022-07-19 |
| 发明（设计）人： | 杨阳 | 申请（专利权）人： | 杨阳 |
| 主分类号： | C22C14/00 | 分类号： | C22C14/00;C22C16/00;C22C27/00;C22C30/00;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/35;B81B7/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 710000 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及吸气合金及其应用、吸气靶材及吸气薄膜，其中，吸气合金包括以下元素：主体元素64wt％‑90wt％、Mo 0.01wt％‑17wt％、Co 0.01wt％‑5wt％、RE 0.01wt％‑4wt％、Fe 0wt％‑4wt％、Al 0wt％‑2wt％、Cr 0wt％‑2wt％、Ni0wt％‑2wt％；其中，主体元素为Ti、Zr和Hf中的一种或多种；RE为La、Ce、Nd、Pr、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、Tm、Yb、Lu、Sc和Y中的一种或多种。该吸气合金制备而成的吸气薄膜具有较优的吸气速率，能够有效地维持MEMS腔体的高真空度，提高MEMS器件性能。 | ||
| 搜索关键词： | 吸气 合金 及其 应用 薄膜 | ||
【主权项】：
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