[发明专利]超纯水处理实时监控方法及系统

摘要

本发明专利公开了超纯水处理实时监控方法及系统，其方法包括如下步骤：原水加入：首先将需要处理的原水通过加水单元的原水箱，并通过原水泵导入至过滤单元进行多步过滤处理；原水投药：将过滤后的原水导入溶液箱中，接着通过加药泵向溶液箱中添加反应所需的阻垢剂，且投药量通过加药计量模块实时计量。本发明专利具备可以在产水量出现波动时及时调整阻垢剂加入量，且能将该阶段产水进行回流重复处理，有效避免影响整体产水质量的优点，解决了目前的水路控制和加药监控为相对独立的两个系统，通常在产水量出现波动时才会停止水路，导致在此阶段产出的部分水会影响整体产水质量的问题，有效提高了超纯水产出的品质，值得推广。