[发明专利]验证化学机械研磨装置性能的方法有效
| 申请号： | 202010250471.3 | 申请日： | 2020-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN111426495B | 公开（公告）日： | 2022-06-10 |
| 发明（设计）人： | 郑凯铭 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01M99/00 | 分类号： | G01M99/00;G01N33/2045;B24B1/00 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种验证化学机械研磨装置性能的方法。所述验证化学机械研磨装置性能的方法包括如下步骤：形成一样品，所述样品包括衬底以及覆盖于所述衬底表面的金属层；采用一待验证的化学机械研磨装置对所述样品的所述金属层进行化学机械研磨；判断研磨后的所述金属层是否存在表面缺陷，若是，则确认所述化学机械研磨装置存在研磨缺陷。本发明能够对化学机械研磨装置的研磨性能进行准确评判和验证，从而有助于改善化学机械研磨装置的性能，减少晶圆损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 验证 化学 机械 研磨 装置 性能 方法 | ||
【主权项】：
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