[发明专利]基于混合物单层膜的光学镀膜元件面形补偿方法有效
| 申请号： | 202010190180.X | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111286700B | 公开（公告）日： | 2020-10-16 |
| 发明（设计）人： | 朱美萍;李静平;邵建达;赵娇玲;宋晨;郭猛;刘晓凤;王胭脂 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30;C23C14/46;C23C14/10;C23C14/08 |
| 代理公司： | 上海恒慧知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31317 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 201800 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种基于混合物单层膜的光学镀膜元件面形补偿方法，同时利用电子束双源共蒸技术和离子束辅助沉积技术，在基底的非镀膜或者在镀膜后面形较凹的待镀膜面沉积离子束辅助混合物单层膜，形成折射率与基底相同的光学虚设层来调谐镀膜元件面形。本发明能够对沉积在任意折射率基底上的镀膜元件进行面形补偿，减少镀膜引起的波面的质量下降，且不影响镀膜元件的光谱性能，该方法对单面镀膜和双面镀膜元件均适用。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 混合物 单层 光学 镀膜 元件 补偿 方法 | ||
【主权项】：
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