[发明专利]一种激光器结构及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 202010162903.5 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN111262130B | 公开（公告）日： | 2022-04-19 |
| 发明（设计）人： | 李齐柱;毛明明;周特;张鹏飞;徐真真 | 申请（专利权）人： | 常州纵慧芯光半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/12 | 分类号： | H01S5/12;H01S5/22;H01S5/02315 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 王华英 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出一种激光器结构及其制备方法和应用，所述激光器结构包括：衬底；外延层，设置在所述衬底上，所述外延层包括层叠的下包层、有源层、上包层和欧姆接触层；脊型波导，形成在所述上包层上；多个周期调制光栅，形成在所述上包层上，并位于所述脊型波导的两侧；其中，所述多个周期调制光栅与所述有源层之间具有预设距离，所述预设距离为50～200nm。本发明提出的激光器制作工艺简单、边模抑制比高、调制速度快，具有优良的动态单模特性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光器 结构 及其 制备 方法 应用 | ||
【主权项】：
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