[发明专利]OPC图形生成方法

摘要

本申请公开了一种OPC图形生成方法，涉及半导体光刻技术领域。该方法包括生成基础图形生成库，基础图形生成库用于生成基础图形，基础图形的形状包括线型和孔型；调用基础图形生成库，根据预定设计图形生成基础图形，并组合基础图形生成初始OPC图形；利用加权函数和初始OPC图形中的线端位置确定待添加的头部图形的尺寸，加权函数用于计算线端的权重；根据待添加的头部图形的尺寸，对初始OPC图形中的线端添加对应的头部图形，得到目标OPC图形；解决了目前大量生成OPC图形效率低、容易出错的问题；达到了自动生成OPC图形，优化对OPC图形的仿真结果，提高OPC图形的生成速度和准确率的效果。