[发明专利]基于调制自由电子的扫描近场光学显微镜有效
| 申请号： | 202010159163.X | 申请日： | 2020-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN111337711B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 胡旻;张天宇;张倬铖;王玥莹;张晓秋艳;许星星;吴振华;刘盛纲 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01Q60/18 | 分类号： | G01Q60/18;G01Q60/22 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 邓黎 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于调制自由电子的扫描近场光学显微镜，属于扫描近场光学显微镜。该显微镜包括电子枪、扫描近场光学显微镜，电子枪产生谐波形式的近场信号，该近场信号在样品处激发样品上的各阶近场信号和远场信号；探测器探测到被探针散射的各阶近场信号和远场信号，通过分离远场信号和近场信号，得到最终的扫描结果。本发明利用调制自由电子代替原有的外部光源，通过对自由电子进行调制，取代原有针尖振动所起的调制作用，提升信号转化效率、信噪比，同时因为不再需要针尖进行抖动，避免了因其抖动可能产生的近场信号和成像的不良影响，最终达到增强近场信号强度和近场成像质量的效果，具有深远的实用意义。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 调制 自由电子 扫描 近场 光学 显微镜 | ||
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- 一种基于金属纳米线表面等离激元纳米光源的光学显微镜-201510856134.8
- 徐红星;管志强;童廉明;张顺平;张福平 - 武汉大学
- 2015-11-27 - 2018-09-21 - G01Q60/18
- 本发明公开了一种基于金属纳米线表面等离激元纳米光源的光学显微镜，该光学显微镜采用金属纳米线中传播型表面等离激元作为纳米光源；金属纳米线扫描探针包括粘结在石英共振音叉或原子力显微镜探针上的金属纳米线，或粘结在石英共振音叉上含有金属纳米线的空心光纤管；测量光路采用显微镜进行宏观光路与微观光路的桥接，外接光源，采用载波技术进行弱信号探测，采用偏振光谱与单色仪配合相应的滤波片进行波长分光，采用CCD、单光子计数器收集光学信号。还公开了金属纳米线扫描探针的制备及修饰。本发明将金属纳米线等离激元的发射作为纳米光源激发样品，在提高光学分辨率、增强光与样品的相互作用、实现可控偏振纳米光源等成像技术方面具有重要意义。
- 近场偏振光扫描探针显微镜-201610167405.3
- 金涛;沈璐 - 上海理工大学
- 2016-03-23 - 2018-06-29 - G01Q60/18
- 本发明涉及一种近场偏振光扫描探针显微镜，具有一条近场光学探测光路，所述近场光学探测光路中由He‑Ne激光器发出的一束线偏振光依次经过四分之一波片A、分光棱镜、物镜A、探针至载物台形成近场光学产生光路；从探针反射的反射光依次经过物镜A、分光棱角、四分之一波片B、格兰泰棱镜、物镜，由光电接收器接收至图像显示系统。本发明能有效抑制远场背景光，提高近场光的信噪比，且能达到小于10纳米的空间分辨率。
- 一种用于近场扫描光学显微镜的光纤照明透射装置-201710817357.2
- 李江艳 - 滨州学院
- 2017-09-12 - 2018-02-27 - G01Q60/18
- 本发明公开了一种用于近场扫描光学显微镜的光纤照明透射装置，包括激光器(1)、照明光纤(2)、光纤固定器主体(3)、光纤连接孔(4)、光纤连接器安装孔(5)、光纤连接器安装头(6)、光纤连接器(7)、光纤固定器主体安装头(8)。本发明通过在近场扫描光学显微镜的物镜转换器上的安装孔上设置微功率激光照射光源，实现了外置微功率激光光源在透射收集模式的近场扫描光学显微镜上的应用，有效满足近场扫描对平面波入射的要求，尤其是对微细结构加工的测量的要求，具有结构简单、使用强、无需改装加工近场扫描光学显微镜等特点。
- 基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统-201510179862.X
- 杨惠霞;漆晓琼;谢亮 - 中国科学院半导体研究所
- 2015-04-16 - 2017-03-29 - G01Q60/18
- 一种基于石英音叉的扫描近场光学显微镜成像系统，该系统包括一石英音叉；一压电陶瓷扫描台，所述石英音叉用圆头螺丝固定在压电陶瓷扫描台上；一锁相放大器，其端口1、端口2通过PCB板与石英音叉的两端相连；一光电倍增管，其输入端通过一滤光片组与收集光纤探针相连；一激光器，其输出端与一激发光纤探针相连；一控制箱，其端口与光电倍增管的输出端相连，其端口与锁相放大器的端口3相连，其端口3与压电陶瓷扫描台相连；一电脑，其输入端与控制箱的端口4相连。本发明可以提高现有的近场光学显微镜的灵敏度。
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