[发明专利]基于全光纤共光路反射式干涉仪的无孔式近场光学显微成像方法在审

专利信息
申请号: 201810964380.9 申请日: 2018-08-23
公开(公告)号: CN109239404A 公开(公告)日: 2019-01-18
发明(设计)人: 丁伟;孙一之 申请(专利权)人: 中国科学院物理研究所
主分类号: G01Q60/18 分类号: G01Q60/18
代理公司: 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人: 王勇
地址: 100190 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明提供一种无孔式近场光学显微成像方法,包括如下步骤:辐照步骤:将激光耦合进波导样品;扫描步骤:用探针扫描所述波导样品;干涉步骤:将参考光和信号光引入同一条光纤路径中发生干涉,其中,所述参考光为所述激光在波导样品端面处的反射光或在所述波导样品之前的布拉格光纤光栅处的反射光,所述信号光为所述激光在所述波导样品的探针扫描部位处的反射光;以及相干检测步骤:对所述干涉步骤产生的干涉光信号进行相干检测。
搜索关键词: 波导样品 反射光 干涉 近场光学 探针扫描 显微成像 相干检测 参考光 无孔式 信号光 激光 布拉格光纤光栅 干涉光信号 辐照步骤 光纤路径 激光耦合 扫描步骤 端面处 反射式 共光路 全光纤 引入
【主权项】:
1.一种无孔式近场光学显微成像方法,包括如下步骤:辐照步骤:将激光耦合进波导样品;扫描步骤:用探针扫描所述波导样品;干涉步骤:将参考光和信号光引入同一条光纤路径中发生干涉,其中,所述参考光为所述激光在波导样品端面处的反射光或布置在所述波导样品之前的布拉格光纤光栅处的反射光,所述信号光为所述激光在所述波导样品的探针扫描部位的反射光;以及相干检测步骤:对所述干涉步骤产生的干涉光信号进行相干检测。
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  • 宋国峰;胡海峰;徐云;陈良惠 - 中国科学院半导体研究所
  • 2010-05-26 - 2010-11-10 - G01Q60/18
  • 一种基于微小孔激光器的扫描近场光学显微镜系统,包括:一近场激发样品台,该近场激发样品台包括一悬臂,该近场激发样品台用于放置样品;一半导体微小孔激光器,该半导体微小孔激光器安装于近场激发样品台的悬臂上;一探测器,该探测器位于样品台的下方,与半导体微小孔激光器相对;一信号处理器,该信号处理器的输入端与探测器的输出端连接,用于收集处理探测器的数据;一Z轴控制装置,该Z轴控制装置通过信号处理器控制近场激发样品台的Z轴移动,以便控制半导体微小孔激光器与近场激发样品台的距离;一X-Y扫描装置,该X-Y扫描装置通过信号处理器控制半导体微小孔激光器对近场激发样品台上的样品进行扫描。
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