[发明专利]一种直拉硅单晶用炉盖及其制作方法有效
申请号: | 202010150307.5 | 申请日: | 2020-03-06 |
公开(公告)号: | CN113355735B | 公开(公告)日: | 2023-07-25 |
发明(设计)人: | 李晓东;韩凯;景吉祥;赵志远;钟旭;卢佳锋;康学兵;田鑫阳;贾国华 | 申请(专利权)人: | 内蒙古中环光伏材料有限公司 |
主分类号: | C30B15/00 | 分类号: | C30B15/00;C30B29/06;F27D1/18 |
代理公司: | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人: | 栾志超 |
地址: | 010070 内蒙古自*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本发明提供一种直拉硅单晶用炉盖,包括盖体,在所述盖体靠近晶体一侧设有用于防止所述盖体直接长时间暴露在高温环境下形成游离的金属离子的叠层内衬,所述叠层内衬设置在所述盖体内壁并沿所述盖体径向圆周设置。本发明还提供一种直拉硅单晶用炉盖的制作方法。本发明提出的炉盖,是在盖体内侧涂覆一叠层内衬,即能保护炉盖内壁结构,又能防止炉盖内壁形成一层金属离子,提高炉盖的使用寿命,提高直拉单晶晶体品质。 | ||
搜索关键词: | 一种 直拉硅单晶用炉盖 及其 制作方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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