[发明专利]用于调整物镜与照明装置位置关系的方法、装置和光刻机有效
| 申请号： | 202010149344.4 | 申请日： | 2020-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN113359393B | 公开（公告）日： | 2023-02-07 |
| 发明（设计）人： | 杨宏伟 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种用于调整物镜与照明装置位置关系的方法、装置和光刻机，该方法包括：完成物镜的整机装调后，安装照明装置至整机上，初步调整照明装置与物镜之间的位置关系；安装掩模台至整机上，调整掩模台与物镜之间的位置关系；安装传感器至工件台的承载板上，调整传感器与承载板之间的位置关系；安装工件台至整机上，调整工件台与物镜之间的位置关系；照明装置上电初始化并发出对准光束，对准光束通过掩模台的基准板上的对准孔，经物镜成像后在传感器上形成光斑；通过传感器确定光斑的位置，根据光斑的位置，再次调整照明装置与物镜之间的位置关系以满足光轴的精度要求。本发明可以有效减少调整工序，提高装调效率，效减少工装制作成本。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 调整 物镜 照明 装置 位置 关系 方法 光刻 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备（集团）股份有限公司，未经上海微电子装备（集团）股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010149344.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
