[发明专利]用于高温应用的耐等离子体腐蚀的薄膜涂层有效
| 申请号： | 202010090438.9 | 申请日： | 2015-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111254436B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | V·菲鲁兹多尔;B·P·卡农戈;J·Y·孙;M·J·萨里纳斯;J·A·李 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04;C23C14/02;C23C14/06;C23C14/08;C23C14/22;C23C14/30;C23C14/34;C23C16/455;C23C16/458;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 诸如基座之类的制品包括热传导材料的主体，所述主体由所述主体表面上方的第一保护层与第二保护层涂覆。第一保护层是热传导陶瓷。第二保护层覆盖第一保护层，并且是可在650℃温度下抵抗破裂的耐等离子体的陶瓷薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 高温 应用 等离子体 腐蚀 薄膜 涂层 | ||
【主权项】：
暂无信息
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