[发明专利]测量装置、曝光装置和制造物品的方法在审
| 申请号： | 202010077600.3 | 申请日： | 2020-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN111505915A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 前田普教;箕田贤 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G01B11/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 宋岩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 公开了测量装置、曝光装置和制造物品的方法。本发明提供了一种测量物体的位置的测量装置，该测量装置包括：被配置成用照明光照亮物体的照明系统，被配置成在被配置成检测物体的图像的光电转换器件上形成来自物体的检测光的图像的图像形成系统，以及分离系统，该分离系统包括布置在照明系统和图像形成系统之间的反射偏振器和λ/4板并且被配置成经由反射偏振器和λ/4板将照明光与检测光分离，其中，分离系统包括布置在反射偏振器和λ/4板之间的至少一个光学构件，并且照明系统和图像形成系统中各自包括透射偏振器。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 装置 曝光 制造 物品 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能株式会社，未经佳能株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010077600.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
