[发明专利]金属短路失效定位结构和方法有效
| 申请号： | 202010063862.4 | 申请日： | 2020-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN111261613B | 公开（公告）日： | 2021-06-15 |
| 发明（设计）人： | 杨领叶;段淑卿;高金德 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66;G01R31/26;G01R31/52;G01R19/15 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种金属短路失效定位结构，包括：第一和第二金属绕线结构；在短路失效检测区域中，第一金属绕线结构包括多条平行的连接成蛇形结构的第一金属线段，第二金属绕线结构包括多条电连接在一起的第三金属线段，各第三金属线段和对应第一金属线段相邻；第一金属线段的首尾连接通过位于更高层的金属层组成的第二金属线段实现。第二金属线段在电性确认过程中保留以及在失效定位过程中去除使第一金属线段之间断开连接，利用被动电压衬度对比定位和第二金属绕线结构短路的第一金属线段。本发明还公开了一种金属短路失效定位方法。本发明能完全定位到金属短路的失效位置且能实现对nA级别的金属短路失效位置进行定位。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 短路 失效 定位 结构 方法 | ||
【主权项】：
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