[发明专利]多晶硅制造用反应炉、多晶硅制造装置、多晶硅的制造方法、以及多晶硅棒或多晶硅块在审
| 申请号： | 202010051606.3 | 申请日： | 2015-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN111153407A | 公开（公告）日： | 2020-05-15 |
| 发明（设计）人： | 祢津茂义;星野成大;冈田哲郎;齐藤弘 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | C01B33/035 | 分类号： | C01B33/035 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 杨青;安翔 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供多晶硅制造用反应炉、多晶硅制造装置、多晶硅的制造方法、以及多晶硅棒或多晶硅块。本发明涉及的多晶硅制造用反应炉按照具有以与反应炉的直筒部垂直的该反应炉的内截面积(S |
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| 搜索关键词： | 多晶 制造 反应炉 装置 方法 以及 | ||
【主权项】：
暂无信息
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