[发明专利]用于制作声波谐振器复合基板及表声波谐振器及制造方法有效
| 申请号： | 202010018484.8 | 申请日： | 2020-01-08 |
| 公开（公告）号： | CN113098431B | 公开（公告）日： | 2023-09-08 |
| 发明（设计）人： | 黄河;罗海龙;李伟;齐飞 | 申请（专利权）人： | 中芯集成电路（宁波）有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/17 | 分类号： | H03H9/17;H03H3/02 |
| 代理公司： | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人： | 张立君 |
| 地址： | 315800 浙江省宁波市北*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于制作声波谐振器复合基板及表声波谐振器及制造方法，其中复合基板的制造方法包括：提供基底，所述基底包括相对的第一表面和第二表面；在所述第一表面形成向所述第二表面凹陷的第一凹槽；提供压电片，所述压电片与所述第一凹槽的形状吻合，通过键合的方式将所述第一凹槽的底面与所述压电片结合；复合基板包括：基底，所述第一基底包括相对的第一表面和第二表面；所述第一表面设有向所述第二表面凹陷的第一凹槽；压电片，所述压电片嵌入于所述第一凹槽中，所述压电片的顶面高于所述第一表面或者与所述第一表面齐平。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 制作 声波 谐振器 复合 制造 方法 | ||
【主权项】：
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