[发明专利]加速度传感器在审
| 申请号： | 201980090088.1 | 申请日： | 2019-09-05 |
| 公开（公告）号： | CN113366321A | 公开（公告）日： | 2021-09-07 |
| 发明（设计）人： | 严鑫洋 | 申请（专利权）人： | 深圳市柔宇科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518172 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 一种加速度传感器(100)，包括：柔性衬底(11)；形变层(12)，形变层(12)设于柔性衬底(11)上，形变层(12)能够导电，当形变层(12)在外力作用下形变时，形变层(12)的电阻随着形变层(12)的形变量而变化；及检测器(13)，检测器(13)电连接形变层(12)，用于根据形变层(12)的电阻的变化值获取加速度。该加速度传感器(100)加工工艺简单、成本低、可用于曲面物体表面。 | ||
| 搜索关键词： | 加速度 传感器 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市柔宇科技股份有限公司，未经深圳市柔宇科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201980090088.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：显示面板、电子设备及显示面板的制备方法
- 下一篇：弹性基底的制备方法
- 同类专利
- 基于仿生孔缝的双层多梁加速度传感器及制备方法-202310639009.6
- 侯涛;王越;刘富;韩志武;赵宇锋 - 吉林大学
- 2023-05-31 - 2023-09-29 - G01P15/12
- 本发明公开了基于仿生孔缝的双层多梁加速度传感器及制备方法，包括：框架，质量块，质量块设置在框架中部；支撑梁，支撑梁一端与质量块连接、另一端与框架连接，支撑梁设置有直角弯折；为含有直角的支撑梁，含有直角的支撑梁连接在质量块的四周侧边；敏感梁，敏感梁一端连接质量块、另一端连接框架，敏感梁上设置有应力感知仿生孔缝；带有应力感知仿生孔缝的敏感梁连接在质量块的四角；带有应力感知仿生孔缝的敏感梁与质量块的上表面处相连接，支撑梁与质量块的下表面处相连接，支撑梁与敏感梁构成双层结构。本发明将支撑梁与敏感梁分层设计，使加速度计检测更加灵活，既能提高加速度传感器的灵敏度，又能提升系统的固有频率。
- 一种基于间隙改变的隧道磁阻效应加速度计装置-201610942129.3
- 杨波;王斌龙;陆城富;汪秋华;吴磊;胡迪 - 东南大学
- 2016-10-26 - 2023-09-12 - G01P15/12
- 本发明公开了一种基于间隙改变的隧道磁阻效应加速度计装置，包括顶层结构、底层结构、第一锚点和第二锚点，顶层结构通过分别设置在底层结构两端的第一锚点和第二锚点支撑在底层结构上。本发明采用高灵敏度的隧道磁阻效应进行加速度信号检测，具有饱和磁场低、工作磁场小、灵敏度高、温度系数小，测量带宽大等优点，提出隧道磁阻效应加速度计结构方案简单、紧凑、体积较小、灵敏度高、测量精度高。
- MEMS加速度计及其制备方法-202310310799.3
- 李维平;兰之康;卜鹤群 - 南京高华科技股份有限公司
- 2023-03-28 - 2023-08-18 - G01P15/12
- 本公开实施例提供一种MEMS加速度计及其制备方法。MEMS加速计包括：衬底；支撑柱，设置于衬底；第一连接梁，设置于支撑柱背离衬底的一侧；第二连接梁，设置于衬底并与第一连接梁相对间隔设置；感应元件和质量块，均设置于第二连接梁；双材料弹性支撑组件，位于第一连接梁和第二连接梁之间，两端分别与第一连接梁和第二连接梁连接，双材料弹性支撑组件由两个不同膨胀系数的材料制作形成。本公开的MEMS加速度计，能有效降低加速度计在承受较大加速度时第二连接梁发生断裂的可能性，具有一定的抗过载能力；另外，还可以避免质量块在未受到加速度时发生位移，从而抑制加速度计的零漂现象；最后，还可以实现对加速度计的温漂补偿。
- 一种微悬臂梁加速度传感装置、传感器及其制备方法-202310421775.5
- 苗斌;李加东;徐瞻;顾智琦;冯昌坤;胡益民 - 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 2023-04-19 - 2023-08-11 - G01P15/12
- 本发明涉及一种微悬臂梁加速度传感装置、传感器及其制备方法，包括，惯性力传导单元；惯性力感知单元，其包括衬底、第一悬臂梁单元和第二悬臂梁单元，所述第一悬臂梁单元和所述衬底相连，所述第一悬臂梁单元包括第一响应悬臂梁组件和第一校准悬臂梁组件，所述第一响应悬臂梁和第一校准悬臂梁的刚度相同；第二悬臂梁单元，其和衬底相连，第二悬臂梁单元包括第二响应悬臂梁组件和第二校准悬臂梁组件，第二校准悬臂梁组件包括第二校准悬臂梁、第四压敏电阻和第四电极，第二响应悬臂梁和第二校准悬臂梁的刚度相同。本发明在兼顾压阻式微机电系统加速度计微型化的同时，不仅实现了高灵敏度的加速度感测，还能够实现跨量级的大量程动态范围加速度监测。
- 一种MEMS高g值三轴加速度计-202111531486.8
- 郭小辉;邵爽;金程超;柳天琪;王思亮;曾玮;杨利霞;许耀华;黄志祥 - 安徽大学
- 2021-12-14 - 2023-07-25 - G01P15/12
- 本发明公开了一种MEMS高g值三轴加速度计，其包括：外部矩形框架，设在外部矩形框架中心的质量块，设在外部矩形框架和质量块之间的回形梁；回形梁与质量块之间通过中间支撑梁连接；外部矩形框架、回形梁及质量块在四角位置通过对角支撑梁连接；在外部矩形框架和回形梁之间连接有敏感微梁，在敏感微梁上设置有压敏电阻。本发明的三轴加速度计结构中心对称，轴间耦合度低，在不牺牲固有频率的同时实现了较高的灵敏度，且其制作工艺简单。
- 一种加速度传感器弹性体-201910045319.9
- 唐闻远 - 北京林业大学
- 2019-01-17 - 2023-07-18 - G01P15/12
- 一种加速度传感器弹性体，该弹性体设置在上平台与下平台之间，所述弹性体为竖梁式结构，包括弹性连接杆，所述弹性连接杆包括上连杆、下连杆以及连接上连杆和下连杆的弹性部件，所述弹性部件为V型件，V型件的上端与上连杆连接，下端与下连杆连接，在应力集中点粘贴应变片。本发明有以下技术效果：本发明弹性体没有铰链连接，也没有移动副设计，弹性体为竖梁式结构。在使用时，将球形质量块设置在上平台上，施加加速度时，利用应力集中法将应力集中在弹性部件上，在弹性极限范围内，增加弹性部件的峰值应力，并在应力集中处张贴电阻应变片，大幅改善测量电路和输入信号源，提高传感器的测量精度。在超出量测时，传感器可有效保护应力集中位置。
- 一种加速度传感器-201910044641.X
- 唐闻远 - 北京林业大学
- 2019-01-17 - 2023-07-18 - G01P15/12
- 一种加速度传感器，包括上平台与下平台之间，在上平台与下平台之间设置有弹性体，在上平台上设置有球形质量块，所述弹性体为竖梁式结构，包括弹性连接杆，所述弹性连接杆包括上连杆、下连杆以及连接上连杆和下连杆的弹性部件，上连杆的上端连接在上平台上，下连杆的下端连接在下平台上，所述弹性部件为V型件，V型件的上端与上连杆连接，下端与下连杆连接，在应力集中点粘贴应变片。在使用时，将球形质量块设置在上平台上，施加加速度时，利用应力集中法将应力集中在弹性部件上，在弹性极限范围内，增加弹性部件的峰值应力，并在应力集中处张贴电阻应变片，大幅改善测量电路和输入信号源，提高传感器的测量精度。在超出量测时，传感器可有效保护应力集中位置。
- 一种具有位置无关纯轴向变形压阻梁的MEMS压阻式加速度计芯片及其制备方法-202211715305.1
- 夏勇;王延斌;赵立波;于明智;卢德江;贾琛;韩香广;李支康;林启敬;杨萍;蒋庄德 - 西安交通大学
- 2022-12-29 - 2023-07-14 - G01P15/12
- 本发明公开了一种具有位置无关纯轴向变形压阻梁的MEMS压阻式加速度计芯片及其制备方法，子单元为一轴对称结构，第一支撑梁的一端与芯片外框连接，第一支撑梁的另一端与第一质量块一端的中部连接，第一质量块的另一端与第二质量块的一端之间通过第一敏感梁和第二敏感梁连接，第二质量块另一端的中部与第二支撑梁的一端连接，第二支撑梁的另一端与芯片外框连接；第一支撑梁和第二支撑梁关于子单元对称轴对称，第一质量块和第二质量块关于子单元对称轴对称，第一敏感梁和第二敏感梁关于第一支撑梁以及第二支撑梁的轴线对称。该芯片支撑梁和敏感梁通过质量块分离设置，极大弱化了灵敏度与谐振频率之间的直接耦合关系。
- 一种加速度传感器的阻尼自适应结构及控制方法-202310012905.X
- 胡纯;王义凯;晁承科;吕跃祖;李望;郑德智 - 北京理工大学
- 2023-01-05 - 2023-04-25 - G01P15/12
- 一种加速度传感器的阻尼自适应结构及控制方法，属于引信技术领域。通过在加速度传感器质量块与下部支撑硅基底之间增设两块正对电极板实现阻尼可变的效果。当传感器的输出大于触发阈值时，在电极板上通过一定的电流，使两极板间产生作用力，从而产生限制传感器运动的阻尼，使加速度传感器能够更快回到初始的稳定状态，缩小震荡时间；当传感器输出小于终止阈值时，判定传感器已经回到初始稳定状态，关闭反馈控制，此时两极板间作用力消失，传感器再次正常工作。本发明适用于加速度传感器领域领域，使加速度传感器具有更好的动态性能，在受到脉冲信号时能够更快的回归到稳定值，加大传感器可探测带宽，提高加速度传感器的阻尼自适应结构的可控性。
- 一种基于MEMS工艺的单轴压阻式加速度传感器-202223358693.0
- 盖广洪;刘坤;颜逊 - 苏州航凯微电子技术有限公司
- 2022-12-14 - 2023-04-07 - G01P15/12
- 本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种基于MEMS工艺的单轴压阻式加速度传感器，包括检测层，所述检测层的上下两侧均设置有保护盖板，所述检测层包括支撑框架，所述支撑框架中对称安装有两个质量块，所述支撑框架中安装有限位梁，两个所述质量块均通过一个支撑梁与支撑框架的内壁连接，两个所述质量块的中心均通过链接梁与限位梁连接，两个所述质量块相对的一侧均设置有两个敏感梁，所述敏感梁远离质量块的一端连接于限位梁上，每个所述敏感梁上均设置有压敏电阻。该装置在保证结构在敏感方向上具有足够灵敏度的前提下，有效减小了其他非敏感方向上的灵敏度，并使固有频率的得到了提高。生产成本低、工艺易于实现。
- 一种新型MEMS压阻式加速度传感器-202223361180.5
- 盖广洪;苗天宇;颜逊 - 苏州航凯微电子技术有限公司
- 2022-12-14 - 2023-03-31 - G01P15/12
- 本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种新型MEMS压阻式加速度传感器，包括外框，所述外框中安装有十字梁，所述十字梁用于将外框的内部分隔成四个安装区域，所述安装区域中安装有质量块，四个所述质量块分别通过一个应变梁与十字梁连接，四个所述应变梁中分别设置有一个半导体电阻，沿着传感器的工作方向，与同一坐标值的质量块连接的两个半导体电阻为电桥的一侧，通过四个半导体电阻构成惠斯通电桥。采用钟摆式结构，有效放大了质量块受力时的位移，再通过对质量块添加限位的方式对“应变梁‑质量块”结构进行保护，从而实现了高过载冲击保护。相对于传统的高g值加速度计，拥有更高的灵敏度。
- 一种小型化低耦合效应压阻式加速度传感器-202223290825.0
- 盖广洪;李嘉骐;颜逊 - 苏州航凯微电子技术有限公司
- 2022-12-08 - 2023-03-17 - G01P15/12
- 本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种小型化低耦合效应压阻式加速度传感器，包括硅片层，所述硅片层的两侧均设置有保护层，所述硅片层包括支撑框，所述支撑框中安装有质量块，所述质量块的两侧分别通过一个S桥与支撑框的内壁连接；所述S桥包括两个桥墩和一个桥身，两个桥墩设置于桥身的两端，且其中一个桥墩与质量块连接，另一个桥墩与支撑框的内壁连接；所述S桥的桥身的两端分别设置有一个敏感梁，其中一个敏感梁与支撑框的内部连接，另一个所述敏感梁与质量块连接。该装置采用“悬臂梁（S桥）‑质量块”结构，能够有效解决压阻式原理灵敏度低的问题，低耦合效应能大大提高传感器的抗干扰能力，降低用户的误操影响。
- 一种加速度传感器-202211656789.7
- 何永蔚;陈冠政;阮迪清;程琳;刘爱萍 - 浙江理工大学
- 2022-12-22 - 2023-03-14 - G01P15/12
- 本发明公开了一种加速度传感器，包括具有重力、良好弹性、导电性的小球，所述小球的内部设置有芯片，所述小球的前后左右上下方向上分别固定连接有一个敏感元件，所述敏感元件的远离所述小球的一端固定连接有吸盘，所述芯片与所述敏感元件之间电路连接有位于所述小球内部的导线，本发明的一种加速度传感器可以实现加速度高灵敏度检测，可以应用于贵重物品的运输等，具有反应灵敏、运动数据精准等优点。
- 一种低耦合的自限位压阻式加速度传感器-202223290819.5
- 盖广洪;朱明君;颜逊 - 苏州航凯微电子技术有限公司
- 2022-12-08 - 2023-03-14 - G01P15/12
- 本实用新型适用于加速度传感器技术领域，提供了一种低耦合的自限位压阻式加速度传感器，包括惯性力敏感检测层，所述惯性力敏感检测层的上下两侧均安装有保护盖板，所述惯性力敏感检测层包括安装块，所述安装块中开设有扇形的自限位卡槽，所述自限位卡槽中安装有扇形的质量块，所述质量块靠近圆心角的一端连接有敏感梁，所述敏感梁为全通窄臂结构，所述安装块上还设置有引线端子台，所述引线端子台包括多个引线端子，所述引线端子台通过引线连接有两个参考电阻和两个工作电阻，所述工作电阻设置于敏感梁上。该装置整体结构简单，成本低，线性度好，灵敏度高且具有自限位抗冲击载荷能力。
- 一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法-202211485553.1
- 夏勇;王涛;赵立波;于明智;韩香广;罗运运;贾琛;王久洪;王永录;杨萍;林启敬;卢德江;蒋庄德 - 西安交通大学
- 2022-11-24 - 2023-03-10 - G01P15/12
- 本发明公开了一种基于纯轴向应变梁的单轴加速度传感芯片及其工作方法，敏感梁上均具有力敏电阻；固定框架的内框形状为矩形，所有振动单元相同并依次设置于固定框架内框的四角位置；质量块上设有供支撑梁活动的凹槽，支撑梁的一端与固定框架内框的一拐角固定连接，支撑梁的另一端与质量块上的凹槽的底部连接；第一、二振动单元的质量块相邻侧面两端之间设置敏感梁；第三、四振动单元的质量块相邻的侧面两端之间设置敏感梁；所有敏感梁相互平行。本发明可以产生敏感梁纯轴向拉伸或者压缩的效果；另外一方面，这样可以显著地降低了小尺寸下芯片可动结构的整体刚度，使得小尺寸下，敏感芯体仍具有较好的灵敏度及高带宽特性。
- 最佳工作点可调的硅纳米线阵列式加速度计及其加工方法-202211084758.9
- 刘超然;郭礼康;杨勋;郑驰霖;韩晶晶;董林玺;王高峰 - 杭州电子科技大学
- 2022-09-06 - 2022-11-22 - G01P15/12
- 本发明涉及最佳工作点可调的硅纳米线阵列式加速度计及其加工方法，硅纳米线阵列式加速度包括硅纳米线敏感单元、质量块、氮化硅薄膜、金电极、栅极以及硅基底。当加速度计受到外界的加速度作用时，质量块上下移动会使得硅纳米线发生形变，导致硅纳米线的电导变化，进而输出变化的信号；同时，本发明的栅极能够调制硅纳米线沟道，进而可寻找到器件的最佳工作点。另外，栅极结构能够有效地保护硅纳米线不因各种原因断裂，大大提高了硅纳米线器件的长期稳定性。本发明的加工方法工艺简单、成本低廉，可实现大规模加工生产。
- 加速度计及其制作方法-201910464711.7
- 李森林 - 武汉杰开科技有限公司
- 2019-05-30 - 2022-10-28 - G01P15/12
- 本申请公开了加速度计及其制作方法。其中，所述加速度计包括结构层，所述结构层包括：边框结构，所述边框结构形成有一容置空间；固支梁，所述固支梁设在所述容置空间中；质量块，所述质量块设于所述固支梁上；检测电路，所述检测电路用于基于所述质量块产生的所述作用力而输出至少一轴向加速度对应的电信号，其中，检测电路包括：至少两个应变电阻，所述至少两个应变电阻分别设于所述固支梁靠近所述质量块的一端或两端上；至少两个匹配电阻，所述至少两个匹配电阻设于所述质量块上；其中，所述至少两个应变电阻与所述至少两个匹配电阻组成至少一组惠斯通电桥。上述方案，能够削弱加速度的交叉耦合干扰。
- 一种MEMS冲击传感器及其制备方法-202210556860.8
- 周浩楠;李宋;张亚婷 - 安徽京芯传感科技有限公司
- 2022-05-20 - 2022-08-12 - G01P15/12
- 本发明提供了一种MEMS冲击传感器及其制备方法。本发明的MEMS冲击传感器包括顶盖、敏感结构层、底板和键合介质；所述顶盖在敏感结构层上方，所述敏感结构层包含压敏电阻、金属引线、弹性梁和质量块，所述底板在敏感结构层下方，所述顶盖与敏感结构层、底板与敏感结构层间均采用介质键合，键合介质既保证键合强度，又提供顶盖与敏感结构层、底板与敏感结构层间的可动间隙。本发明的MEMS冲击传感器在掺杂电阻完成后只需两步刻蚀和两步键合即可完成整个流程制作，极大的减少了常规冲击传感器的工艺步骤，且为芯片级密封结构，可动部件由顶盖和底板保护，后期可直接用普通塑封工艺完成传感器的封装，适用性强。
- 全方位动热源式Z轴微机械加速度计-202122910217.4
- 佟嘉程;朴林华;李备;王灯山 - 北京信息科技大学
- 2021-11-25 - 2022-07-15 - G01P15/12
- 本实用新型公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置全方位动热源摆加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；全方位动热源摆加热器通过三个半圆形支撑梁悬置在上敏感层的中心位置；盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的表面密闭连接。本实用新型采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本实用新型可实现Z轴加速度的测量，具有灵敏度高、测量速度快、结构紧密等特点。
- 一种加速度测量方法和水银加速度传感器-201610149162.0
- 刘义;陈华 - 英麦科（厦门）微电子科技有限公司
- 2016-03-16 - 2022-06-28 - G01P15/12
- 本发明涉及加速度检测领域，特别涉及一种加速度测量方法和水银加速度传感器。本发明公开了一种水银加速度传感器，包括密封的绝缘管、设置在绝缘管里面的两个水银柱、设置在两个水银柱之间的与水银不相溶的绝缘液体柱、两对电极对和磁场产生装置，所述两个水银柱和绝缘液体柱不充满绝缘管，所述两对电极对分别设置在绝缘管内的两端，所述两对电极对分别与两个水银柱部分接触并分别与外接电源连接构成两个导电回路，所述两对电极对的电流的流向相反且都垂直于绝缘管径向，所述磁场产生装置设置在绝缘管外，其产生的磁场贯穿绝缘管并与绝缘管径向垂直。本发明还公开了一种加速度测量方法。本发明对材料要求不高、设计简单、可微型化、成本低。
- 一种三轴压阻式加速度计-202210123320.0
- 维尼辛格;陈林峰;潘峰;魏锦烨;陈锦华;李敏;韩文都 - 湖州久鼎电子有限公司
- 2022-02-10 - 2022-06-24 - G01P15/12
- 一种三轴压阻式加速度计，其特征在于，包括：支撑边框；质量块；多个复式悬臂梁；分布于所述多个复式悬臂梁上的多个压敏电阻，其中：所述质量块通过所述复式悬臂梁悬于所述支撑边框的中心位置，所述质量块在相互垂直的X轴方向和Y轴方向上，分别通过所述复式悬臂梁与所述支撑边框连接。本发明采用的复式悬臂梁，较目前常用的悬臂梁，具有更好的刚性，有助于质量块的复位，减少了系统误差，提高了测量准确性。
- 一种高g值MEMS压阻式加速度计-202122212597.4
- 武浩;于天朋;付博;陈红;刘东;李慧娟;葛志鹏;韩世杰 - 淮海工业集团有限公司
- 2021-09-14 - 2022-06-24 - G01P15/12
- 本实用新型公开的一种高g值MEMS压阻式加速度计，属于军用MEMS技术领域。本实用新型利用了具有限位过载保护和压膜阻尼调整的玻璃‑硅‑玻璃键合的三明治结构进行器件整体密封保护结构，采用了具有高灵敏度、高抗过载能力的单质量块三轴线压阻式检测结构，中间敏感结构层上设计了采用了八边梁‑质量块结构，通过在不同轴系受力面注入压敏电阻形成检测电桥组，从而实现三轴方向的加速度检测；本实用新型在保证结构在敏感方向上具有足够灵敏度的前提下，有效减小了其他非敏感方向上的灵敏度，并使固有频率的得到了提高，其特点是成本低、工艺易于实现。
- 一种电学加速度传感器-202210222872.7
- 张中侠 - 金华伏安光电科技有限公司
- 2022-03-07 - 2022-06-10 - G01P15/12
- 本发明涉及加速度应用领域，具体提供了一种电学加速度传感器，底电极固定在底座上，复合相变材料部为柱形，复合相变材料部的一端固定在底电极上，顶电极固定在复合相变材料部的另一端，质量块固定在顶电极上。工作时，在加速度的作用下，质量块压缩复合相变材料部，改变了复合相变材料部的导电特性，通过测量复合相变材料部导电特性的变化实现加速度探测。因为复合相变材料部的导电特性严重地依赖于其内部结构，所以本发明能够实现高灵敏度的加速度检测。另外，本发明是基于传统电学的，设备简单、体积小，使用方便，在加速度检测领域具有良好的应用前景。
- 全方位动热源摆式双轴微机械加速度计-202122910542.0
- 朴林华;李备;王灯山;佟嘉程 - 北京信息科技大学
- 2021-11-25 - 2022-05-24 - G01P15/12
- 本实用新型公开了一种全方位动热源摆式双轴微机械加速度计，该双轴加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和两对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器的通电方式为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现双轴加速度的测量，灵敏度高，响应速度快，具有结构应力小、体积小、重量轻、易于智能化和集成化等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时，它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，优秀的抗振动和冲击特性等优点。
- 全方位动热源摆式三轴微机械加速度计-202122910667.3
- 朴林华;李备;王灯山;佟嘉程 - 北京信息科技大学
- 2021-11-25 - 2022-05-10 - G01P15/12
- 本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
- 动热源摆式全方位微机械加速度计-202122910171.6
- 朴林华;李备;王灯山;佟嘉程 - 北京信息科技大学
- 2021-11-25 - 2022-05-06 - G01P15/12
- 本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本实用新型可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。
- 全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法-202111410354.X
- 朴林华;李备;佟嘉程;王灯山 - 北京信息科技大学
- 2021-11-25 - 2022-02-08 - G01P15/12
- 本发明公开了一种全方位动热源式Z轴微机械加速度计及其加工方法，该Z轴微机械加速度计包括上敏感层、下敏感层、基底层和盖板；上敏感层中心位置设置全方位动热源摆加热器，下方是中间加热腔；下敏感层包含有两个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；全方位动热源摆加热器通过三个半圆形支撑梁悬置在上敏感层的中心位置；盖板上刻蚀有凹槽，且与上敏感层的表面密闭连接。本发明采用的敏感元件是在一块硅片上通过光刻、腐蚀等工艺制作，不仅可以提高传感器的性能，而且可实现批量生产。本发明可实现Z轴加速度的测量，具有灵敏度高、测量速度快、结构紧密等特点。
- 全方位动热源式单轴微机械加速度计及其加工方法-202111410208.7
- 朴然 - 朴然
- 2021-11-25 - 2022-02-01 - G01P15/12
- 本申请公开了一种全方位动热源式单轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括敏感层、基底层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位振子加热器和一对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过八个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现单轴加速度的测量，能够敏感X轴上的输入加速度，测量范围大，抗冲击能力强。本发明继承了MEMS传感器的优点，而且具有体积小、重量轻、成本低等特点，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。同时它具有结构和加工工艺简单，量程大，可靠性高等优点。
- 动热源摆式全方位微机械加速度计及其加工方法-202111410209.1
- 朴林华;李备;佟嘉程;王灯山 - 北京信息科技大学
- 2021-11-25 - 2022-01-28 - G01P15/12
- 本申请公开了一种动热源摆式全方位微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括基底层、敏感层和盖板，敏感层含有中间加热腔和中间检测腔，敏感层的上表面设置有全方位动热源摆加热器和四对热敏电阻；全方位动热源摆加热器通过六个完全对称的半圆形辐条悬置在敏感层的中心位置；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现加速度全方位的测量，灵敏度高，响应速度快，结构应力小、体积小、重量轻，可实现批量生产。同时它具有结构和加工工艺非常简单，成本极低，可靠性高，使得其与固体摆式微机械加速度计竞争中、低精度和低价格的微型加速度计市场成为可能。
- 全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法-202111410352.0
- 朴林华;李备;佟嘉程;王灯山 - 北京信息科技大学
- 2021-11-25 - 2022-01-28 - G01P15/12
- 本申请公开了一种全方位动热源摆式三轴微机械加速度计及其加工方法，该加速度计包括上敏感层、下敏感层和盖板，敏感层的中心位置设置有一加热器，通过六个完全对称的半圆形支撑梁悬置在敏感层的中心位置，下方是圆形的中间加热腔；下敏感层含有呈正交分布的四个热敏电阻，下方是矩形的中间检测腔；加热器和热敏电阻的通电方式均为恒流电；盖板上刻蚀有凹槽，且与敏感层的上表面密闭连接。本发明可实现三轴加速度的检测，测量范围广，灵敏度高，响应速度快。同时它具有加工工艺简单，结构紧密，结构应力小，可靠性高，易于智能化和集成化，符合传感器朝着微小型、综合型和智能型的发展方向。
- 专利分类
