[发明专利]产生经调制的频率或经相互调制的频率的射频产生器在审
| 申请号： | 201980058229.1 | 申请日： | 2019-07-05 |
| 公开（公告）号： | CN112655067A | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 苏尼尔·卡普尔;托马斯·弗雷德里克 | 申请（专利权）人： | 朗姆研究公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海胜康律师事务所 31263 | 代理人： | 樊英如;邱晓敏 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了一种产生高频射频(RF)信号的高频RF产生器。不需要产生低频RF信号的另一低频RF产生器。低频RF信号在高频RF产生器内预放大以输出经预放大的低频RF信号。类似地，高频RF信号在高频RF产生器内预放大以输出经预放大的低频RF信号。高频RF产生器组合经预放大的低频RF与经预放大的高频RF信号以提供经组合的RF信号。经组合的RF信号在高频RF产生器内放大以将经放大的信号供给至匹配装置。也不需要用于低频RF产生器的另一匹配装置。 | ||
| 搜索关键词： | 产生 调制 频率 相互 射频 产生器 | ||
【主权项】：
暂无信息
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