[发明专利]用于薄膜沉积的直接液体注射系统在审
| 申请号： | 201980057736.3 | 申请日： | 2019-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN112703271A | 公开（公告）日： | 2021-04-23 |
| 发明（设计）人： | 苏布拉曼亚·P·赫尔勒;维森特·M·林;巴萨瓦拉吉·帕坦谢蒂;阿杰·茂;马可·莫尔;比约恩·斯蒂克瑟-韦斯;奈尔施·奇尔曼奥·巴古;维斯韦斯瓦伦·西瓦拉玛克里施南 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/448 | 分类号： | C23C16/448;C23C16/52;C23C16/455;C23C16/40;C23C16/50;H01M4/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种用于将化学前驱物直接液体注射(DLI)到处理腔室中的方法和设备。DLI系统包括液体前驱物源汽化系统，所述系统稳定并且有效地使液体汽化。在一个实施方式中，DLI系统是闭环集成系统，所述闭环集成系统将注射阀(IV)连同液体流量计(LFM)、作为加压前驱物源的安瓿组件、用于加压安瓿组件中的前驱物的惰性推进气体、用于维持目标温度状况的温度控制器、泄漏检测和到气体加热器的受控载气流量进行组合。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 薄膜 沉积 直接 液体 注射 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
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C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
