[发明专利]透明氧化物层叠膜、透明氧化物层叠膜的制造方法、溅射靶和透明树脂基板在审
| 申请号： | 201980025233.8 | 申请日： | 2019-02-05 |
| 公开（公告）号： | CN111954726A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 桑原正和;仁藤茂生 | 申请（专利权）人： | 住友金属矿山株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/08 | 分类号： | C23C14/08;B32B9/00;C23C14/06;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 陈彦;张默 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 利用量产性高的直流溅射，提供具有优异的透明性、良好的水蒸汽阻隔性能或氧阻隔性能的、透明氧化物层叠膜、透明氧化物层叠膜的制造方法、溅射靶和透明树脂基板。一种将含有Zn和Sn的透明氧化物膜层叠多层而成的透明氧化物层叠膜，具有2层以上Zn与Sn的金属原子数比Sn/(Zn+Sn)为0.18以上0.29以下的非晶质膜。 | ||
| 搜索关键词： | 透明 氧化物 层叠 制造 方法 溅射 树脂 | ||
【主权项】：
暂无信息
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