[发明专利]光致抗蚀剂用树脂、光致抗蚀剂用树脂的制造方法、光致抗蚀剂用树脂组合物、以及图案形成方法在审
| 申请号： | 201980020276.7 | 申请日： | 2019-01-31 |
| 公开（公告）号： | CN111918893A | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 伊藤昭德;江口明良 | 申请（专利权）人： | 株式会社大赛璐 |
| 主分类号： | C08F220/18 | 分类号： | C08F220/18;G03F7/039;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供相对于溶剂的溶解性高的光致抗蚀剂用树脂及其制造方法。并提供含有上述光致抗蚀剂用树脂的光致抗蚀剂用树脂组合物、及使用了该光致抗蚀剂用树脂组合物的图案形成方法。上述光致抗蚀剂用树脂在树脂末端不包含氰基，并且分子量分布(Mw/Mn)为1.4以下。 | ||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂用 树脂 制造 方法 组合 以及 图案 形成 | ||
【主权项】：
暂无信息
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