[实用新型]电极间隔离结构、气相沉积设备和石墨舟有效
| 申请号： | 201922184446.5 | 申请日： | 2019-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN211972446U | 公开（公告）日： | 2020-11-20 |
| 发明（设计）人： | 叶继春;闫宝杰;曾俞衡;王玉明;程海良;陈晖;廖明墩;谢利华;李旺鹏 | 申请（专利权）人： | 苏州拓升智能装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/50 | 分类号： | C23C16/50;H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京金智普华知识产权代理有限公司 11401 | 代理人： | 皋吉甫 |
| 地址： | 215100 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供了一种电极间隔离结构、气相沉积设备和石墨舟，其中所述电极间隔离结构包括：至少两个环状隔离片，所述至少两个环状隔离片间隔设置，相邻两个所述环状隔离片的相对侧面之间形成有缝隙。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 间隔 结构 沉积 设备 石墨 | ||
【主权项】：
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
