[实用新型]电致变色功能薄膜器件连续沉积装置有效
| 申请号： | 201921605948.4 | 申请日： | 2019-09-25 |
| 公开（公告）号： | CN211284529U | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 李湘裔 | 申请（专利权）人： | 李湘裔 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/04;C23C16/54;C23C16/04 |
| 代理公司： | 北京名华博信知识产权代理有限公司 11453 | 代理人： | 王帆 |
| 地址： | 473000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了电致变色功能薄膜器件连续沉积装置，大大简化了电致变色薄膜器件的加工工艺，可实现电致变色功能薄膜器件电极/变色膜的连续、高效、大规模生产，有效解决了现有电致变色功能薄膜器件生产制造中由于透明导电膜与电致变色薄膜需要分别镀膜沉积、电极需要曝光刻蚀或印刷等工艺复杂、工序多且不连续、良率低、效率低、质量不稳定、成本高、无法实现规模化生产与产业化推广的突出问题，可广泛应用于电致变色显示、电致变色灵巧窗等功能薄膜器件的规模化生产制造，具有广阔的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 变色 功能 薄膜 器件 连续 沉积 装置 | ||
【主权项】：
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