[发明专利]一种异质薄膜结构延迟线型声表面波器件的设计方法有效
| 申请号： | 201911408358.7 | 申请日： | 2019-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN111064444B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 张涛;柯贤桐;王益祎;曹晓闯;朱寒;姜峰 | 申请（专利权）人： | 西安科技大学 |
| 主分类号： | H03H9/145 | 分类号： | H03H9/145;H03H9/25;H03H3/013 |
| 代理公司： | 西安创知专利事务所 61213 | 代理人： | 谭文琰 |
| 地址： | 710054 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种异质薄膜结构延迟线型声表面波器件的设计方法，该方法包括以下步骤：一、选择薄膜材料与声表面波器件模型的堆叠方式；二、建立各个不同厚度的声表面波器件模型及获取声表面波器件模型的色散特性；三、根据声表面波器件模型的色散特性选择出最符合设计需求的薄膜厚度；四、在声表面波器件模型各个薄膜厚度确定的情况下预设声表面波器件的性能指标；五、根据声表面波器件设计指标设计换能器结构并计算出器件的参数值；六、声表面波器件的参数判断及反馈调整。本发明方法步骤简单，选择蓝宝石为基底层，选择氮化铝和氮化镓双层压电薄膜，实现异质薄膜结构延迟线型声表面波器件的设计。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 结构 延迟 线型 表面波 器件 设计 方法 | ||
【主权项】：
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