[发明专利]由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体及其合成方法

摘要

本发明公开了一种由羧酸化合物合成的光刻胶树脂单体及其合成方法，属于化学合成及光刻材料领域。该树脂单体的结构通式为：式中，R为直链或支链烷基。该树脂单体的合成方法为：将乙烯基醚醇类化合物与丙烯酸类化合物经酯化反应反应得到中间体；将中间体与2,5‑二氧代双环[2.2.2]辛烷‑1,4‑二羧酸进行反应生成所述光刻胶树脂单体。本发明的树脂单体包括缩醛结构和多环、多酯结构，其能够防止光致产酸剂的扩散，改善边缘粗糙度，增加对比度，提高分辨率，具有优异的耐刻蚀性和脂溶性，且其制备方法简单方便。