[发明专利]用于真空镀膜设备的水循环装置在审
| 申请号： | 201911373200.0 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN110904427A | 公开（公告）日： | 2020-03-24 |
| 发明（设计）人： | 阮春林 | 申请（专利权）人： | 东莞市天瞳电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 张艳美;赵贯杰 |
| 地址： | 523000 广东省东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于真空镀膜设备的水循环装置，包括恒温水箱、第一水循环管路、第二水循环管路、第三水循环管路和控制阀装置，第一水循环管路用于连通恒温水箱和扩散泵上铺设的第一水冷管路，第二水循环管路用于连通第一水冷管路和一冷水源，控制阀装置用于选择性的将第一水循环管路和第二水循环管路中的其中一者与第一水冷管路连通；第三水循环管路用于将恒温水箱与铺设在真空室外壁上的第二水冷管路连通，恒温水箱为第二水冷管路提供恒定温度的温水；上述水循环装置，由于扩散泵的外壁高度远远高于常温，因此，可使得常温水箱中的水一直保持在高于常温的温度(如50℃)，而且不需要对恒温水箱设置额外的加热装置，提高了能源利用率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 设备 水循环 装置 | ||
【主权项】：
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