[发明专利]用于真空镀膜设备的水循环装置

权利要求书

1.一种用于真空镀膜设备的水循环装置，真空镀膜设备包括真空室和用于为所述真空室抽真空的扩散泵，其特征在于，所述水循环装置包括恒温水箱、第一水循环管路、第二水循环管路、第三水循环管路和控制阀装置，所述第一水循环管路用于连通所述恒温水箱和所述扩散泵上铺设的第一水冷管路，所述第二水循环管路用于连通所述第一水冷管路和一冷水源，所述控制阀装置用于选择性的将所述第一水循环管路和所述第二水循环管路中的其中一者与所述第一水冷管路连通，以使得所述恒温水箱中的水保持在所设置的恒定水温；所述第三水循环管路用于将所述恒温水箱与铺设在所述真空室外壁上的第二水冷管路连通，所述恒温水箱为所述第二水冷管路提供恒定温度的温水。

2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的水循环装置，其特征在于，所述冷水源还通过第四水循环管路与所述恒温水箱连通，所述控制阀装置还可控制所述第四水循环管路的工作状态。

3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的水循环装置，其特征在于，所述第一水冷管路位于所述扩散泵下部的高温段。

4.根据权利要求2所述的用于真空镀膜设备的水循环装置，其特征在于，所述控制阀装置包括第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀、第四控制阀、第五控制阀和第六控制阀，所述第一控制阀和所述第二控制阀分别设置在所述第一水循环管路上的进水管和出水管上，所述第二控制阀和所述第三控制阀分别设置在所述第二水循环管路上的进水管和出水管上，所述第五控制阀和第六控制阀分别设置在第四水循环管路上的进水管和出水管上。

5.根据权利要求4所述的用于真空镀膜设备的水循环装置，其特征在于，还包括一控制器和一温度传感器，所述温度传感器用于检测所述恒温水箱中的水温，所述第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀、第四控制阀、第五控制阀和第六控制阀为智能控制阀，所述控制器分别与所述温度传感器和所述第一控制阀、第二控制阀、第三控制阀和第四控制阀第五控制阀和第六控制阀电性连接。

6.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的水循环装置，其特征在于，所述恒温箱中的水温恒定在50℃左右。

7.根据权利要求1所述的用于真空镀膜设备的水循环装置，其特征在于，所述冷水源所提供的水的水温为21℃左右。

8.根据权利要求7所述的用于真空镀膜设备的水循环装置，其特征在于，所述真空镀膜设备还包括安装在操作环境中的水冷空调系统，所述水冷空调系统的出水管路用作所述冷水源。