[发明专利]一种大面积陶瓷靶材组件及其制造方法在审
| 申请号： | 201911354803.6 | 申请日： | 2019-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN111020509A | 公开（公告）日： | 2020-04-17 |
| 发明（设计）人： | 周其刚;李宪民;侯金明;戴慧敏 | 申请（专利权）人： | 南京欧美达应用材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人： | 董建林 |
| 地址： | 211102 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种大面积陶瓷靶材组件的制造方法，包括如下过程：提供制造大面积陶瓷靶材组件所需的材料，包括背板、陶瓷靶材基片、导电胶；所述陶瓷靶材基片与背板连接固定的一面为第一焊接面，与第一焊接面相对的为溅射面，背板与陶瓷靶材基片连接固定的一面为第二焊接面；将陶瓷靶材基片的第一焊接面通过导电胶固定于背板的第二焊接面上，陶瓷靶材基片按环状跑道型进行拼接，相邻陶瓷靶材基片之间预留有缝隙；位于环状跑道侧边的陶瓷靶材基片和位于环状跑道端部的陶瓷靶材之间形成内部封闭空白区域，位于环状跑道两端的陶瓷靶材基片的侧边设置倒角。本发明提供的陶瓷靶材组件的制造方法，简单易行，便于加工，避免了靶材碎裂、脱靶等问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大面积 陶瓷 组件 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
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