[发明专利]一种化学气象沉积CVD外管及其加工工艺在审
申请号: | 201911331279.0 | 申请日: | 2019-12-21 |
公开(公告)号: | CN110977355A | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 张忠恕;王连连;赵鹤;陈强;于洋;冯继瑶;张娟;边占宁;孙云涛;李宝军;张连兴;王建立 | 申请(专利权)人: | 张忠恕 |
主分类号: | B23P15/00 | 分类号: | B23P15/00;C23C16/44;C23G1/02;C21D1/26;B08B3/08 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 100000 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开一种化学气象沉积CVD外管及其加工工艺,包括石英板、对接外管、顶盖、配重沿、内口、石英片、外对接口,所述石英板与对接外管焊接为一体结构,所述对接外管前端固定有顶盖,所述石英板为环形,且位于石英板外固定设有配重沿,所述石英板上开有内口,位于所述石英板内紧邻所述内口处固定有石英片,所述石英片搭接在石英板内倾斜面上,所述石英片与石英板焊接固定。 | ||
搜索关键词: | 一种 化学 气象 沉积 cvd 及其 加工 工艺 | ||
【主权项】:
暂无信息
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