[发明专利]一种铜基氟化石墨烯耐蚀薄膜及其原位制备方法与应用在审

专利信息
申请号: 201911301373.1 申请日: 2019-12-17
公开(公告)号: CN110904431A 公开(公告)日: 2020-03-24
发明(设计)人: 赵文杰;吴杨敏;王立平;刘超;方治文;薛群基 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;山东重山光电材料股份有限公司
主分类号: C23C16/26 分类号: C23C16/26;C23C16/56;C23C16/02;C23F15/00
代理公司: 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 代理人: 王锋
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明公开了一种铜基氟化石墨烯耐蚀薄膜及其原位制备方法与应用。所述原位制备方法包括:提供铜基底并置于化学气相生长设备的反应室内,再向所述反应室内通入碳源气体和氢气,通过化学气相沉积法在所述铜基底表面生长形成石墨烯层;之后向所述反应室内通入氟气和载气,从而对所述石墨烯层进行原位氟化刻蚀处理,获得铜基氟化石墨烯耐蚀薄膜。本发明的制备方法简单且安全性好,同时可以通过改变反应温度、时间、压力等条件来调整铜基氟化石墨烯薄膜中氟元素的含量及碳‑氟键成键类型。本发明的铜基氟化石墨烯耐蚀薄膜具有氟化均匀,质量高、耐蚀性能周期长等优点,同时可服役于海洋等严苛环境,适用于工业化推广使用。
搜索关键词: 一种 氟化 石墨 烯耐蚀 薄膜 及其 原位 制备 方法 应用
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  • 2023-02-17 - 2023-08-01 - C23C16/26
  • 本发明公开了一种制备碳/碳复合材料薄板的装置及薄板的制备方法,所述装置包括高硅氧纤维微孔导气板,所述装置还包含镂空石墨板,将镂空石墨板、高硅氧纤维微孔导气板叠置构成一块支撑板,在两块支撑板的高硅氧纤维微孔导气板之间夹装一块碳/碳复合材料薄板坯料,用紧固件将两块支撑板紧固,构成制备碳/碳复合材料薄板的装置。本发明的制备碳/碳复合材料薄板的装置,可将碳源气体均匀导向碳/碳复合材料薄板,解决薄板的均匀化学气相渗碳问题和变形控制问题,制备出密度均匀、表面平整的碳/碳复合材料薄板,其密度为1.5‑1.9g/cm3,厚度为2.0‑8.0mm。
  • 一种低温化学气相沉积制备石墨烯薄膜的方法-202011355645.9
  • 胡宝山;蔡霞;金燕 - 重庆大学
  • 2020-11-27 - 2023-07-25 - C23C16/26
  • 本发明公开了一种低温化学气相沉积制备石墨烯薄膜的方法,主要包括以下步骤:(1)粉体催化剂的制备;(2)金属基底表面清洗;(3)在保护性气氛下,对步骤(2)得到的金属基底进行退火处理;(4)引入气体碳源,同时用氙灯照射光催化剂表面,在低温条件下进行化学气相沉积;(5)步骤(4)结束后停止加热,快速降至室温即可获得石墨烯薄膜。相比于传统的化学气相沉积法制备石墨烯薄膜,本发明方法大幅降低了以甲烷等含碳物质为碳源、以铜等金属为生长基底的石墨烯化学气相沉积法生长温度,制备的产品均匀性较高,重复性好,适于单层或少层石墨烯的可控制备;且能耗成本大幅降低、工业化可行性高,适于大规模生产。
  • 一种基于外加电场辅助的二维材料制备技术-202210030632.7
  • 陈珊珊;刘雯雨;朱美洁 - 中国人民大学
  • 2022-01-12 - 2023-07-21 - C23C16/26
  • 本发明的目的是提供一种外电场辅助制备二维材料的设备和制备方法,电场辅助管式炉设备结构包含:管式炉,腔体,电极片、金属杆、支撑装置、真空连接器法兰、水冷装置和源表。所述金属杆为两根,分别与两片电极片连接,电极片的位置和角度可以通过金属杆进行调节;所述金属杆通过真空连接器法兰贯穿管式炉腔体内外,处于管式炉内的两根金属杆通过支撑装置悬空于腔体内;所述处于管式炉外的两根金属杆连接外加源表用于施加电场,电场极性通过电源正负极可以调控;所述处于管式炉外的金属杆两端连接水冷装置用于散热。在二维材料制备过程中,施加外部电场,通过对电场极性、大小、方向等调控,实现二维材料的厚度、堆垛结构和均匀性可控。
  • 一种微通道散热器表面防腐处理的方法-202310280590.7
  • 何泽明;张航;杨明 - 中国科学院工程热物理研究所
  • 2023-03-21 - 2023-07-14 - C23C16/26
  • 本发明公开了一种微通道散热器表面防腐处理的方法,该方法包括以下步骤:将铜基底放置于真空腔体内,对腔体进行抽真空;向真空腔体内通入氩气与氢气的混合气体,并对腔体进行加热;使真空腔体内保持第一设定温度,停止氩气与氢气的混合气体通入,并向腔体内通入甲烷气体,以使铜基底上生长石墨烯;待铜基底上的石墨烯生长完成后,停止向真空腔体内通入甲烷气体并进行自然降温;待真空腔体降温至第二设定温度时,对腔体进行抽真空操作;待真空腔体降温至第三设定温度时,停止对腔体进行抽真空并取出生长好的样品。本发明的有益效果为在微通道内部或表面生长石墨烯保护层,可显著提高微通道换热器的防腐蚀能力,延长其使用寿命,维持其换热效率。
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