[发明专利]半导体装置及其制备方法有效
申请号: | 201911301083.7 | 申请日: | 2019-12-17 |
公开(公告)号: | CN112992835B | 公开(公告)日: | 2022-08-30 |
发明(设计)人: | 赵健康;史波;廖童佳 | 申请(专利权)人: | 珠海格力电器股份有限公司;珠海零边界集成电路有限公司 |
主分类号: | H01L23/49 | 分类号: | H01L23/49;H01L21/48 |
代理公司: | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人: | 宋少娜;颜镝 |
地址: | 519070*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明涉及一种半导体装置及其制备方法。其中,半导体装置包括半导体组件,半导体组件包括:芯片,包括相对设置的第一侧面和第二侧面,第一侧面设有至少一个电极区和非电极区,至少一个电极区的每个电极区内设有电极;至少一个电极区包括第一电极区;胶膜层,设于非电极区;第一电连接件,包括第一接合部,第一接合部与胶膜层粘接,第一电连接件、第一电极区,以及第一电极区周围的胶膜层共同形成空腔,第一电连接件与空腔相对应的位置设有通孔;以及导电结合件,设于空腔以及通孔内,且将第一电连接件与芯片接合。本发明可缓解导电结合材料的四溢以及空洞或气泡的产生,使芯片与第一电连接件之间的接合更紧密,提高可靠性。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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