[发明专利]红光LED外延片、LED外延片的分割方法及LED外延片结构有效
| 申请号： | 201911157666.7 | 申请日： | 2019-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN110970538B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 刘召军;吴国才;莫炜静;于海娇 | 申请（专利权）人： | 深圳市思坦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/44 | 分类号： | H01L33/44;H01L21/78 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了红光LED外延片、LED外延片的分割方法及LED外延片结构。一种红光LED外延片的分割方法，包括：在红光LED外延片的至少两个第一位置上涂覆保护层；将涂覆保护层之后的红光LED外延片进行氧化处理以在第二位置形成氧化分割层以将所述红光LED外延片分割成至少两个红光LED芯片,所述第一位置与所述第二位置不重叠。本发明的技术方案，通过在红光LED外延片的至少两个第一位置上涂覆保护层，然后氧化未涂覆保护层的第二位置以将红光LED外延片进行分割，解决了红光LED外延片分割成本高、损伤大的问题，达到了降低红光LED外延片分割成本和减小红光LED外延片分割损伤的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 红光 led 外延 分割 方法 结构 | ||
【主权项】：
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