[发明专利]一种陶瓷扁平封装芯片的芯片装架系统有效
申请号: | 201911037280.2 | 申请日: | 2019-10-29 |
公开(公告)号: | CN110993551B | 公开(公告)日: | 2022-06-14 |
发明(设计)人: | 汪威;杨敏;徐畅;杜卫东;汤亮;张俊华;吕斌 | 申请(专利权)人: | 湖北工业大学 |
主分类号: | H01L21/68 | 分类号: | H01L21/68;H01L21/677 |
代理公司: | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人: | 杨宏伟 |
地址: | 430068 湖*** | 国省代码: | 湖北;42 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本发明公开了一种陶瓷扁平封装芯片的芯片装架系统,包括机架,用于整个芯片装架系统的支撑;空舟传送装置,用于传送被取料后的空石墨舟,空舟传送装置的皮带传送方向与装架传送装置平行设置,空舟传送装置上设有取料工位;上料装置,用于对装载有零件的石墨舟上料,包括料仓和设于料仓底部的上料传送带,所述上料传送带末端连接空舟传送装置的取料工位;装架装置,包括装架传送装置、三维移动平台和安装在三维移动平台移动末端的取料装置,所述取料装置设有对待装架零件吸附取料的抓手,所述装架传送装置用于传送待装架的空石墨舟。本发明能完全实现高精度,高效率,高可靠性自动化装架,解放人工劳动力,大大提高了装架效率可靠性以及精度。 | ||
搜索关键词: | 一种 陶瓷 扁平封装 芯片 系统 | ||
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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