[发明专利]用于压印的结构印模、装置以及方法在审
| 申请号： | 201911023469.6 | 申请日： | 2012-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN110874012A | 公开（公告）日： | 2020-03-10 |
| 发明（设计）人： | P.菲舍尔;G.克赖因德尔;J.哈明;C.塔纳;C.舍恩 | 申请（专利权）人： | EV集团E·索尔纳有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭帆扬;陈浩然 |
| 地址： | 奥地利圣*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及结构印模(5)，带有：具有微结构化和/或纳米结构化的印模面(2)的柔性印模(1)，印模面(2)用于将与印模面(2)对应的压印结构压印在压印面(6o)上；框架(3)，其用于夹紧印模(1)。此外，本发明涉及用于将压印图案压印在压印面()上的装置，带有以下特征：印模容纳部，其用于容纳根据上述权利要求中任一项所述的结构印模(5)且使之运动；压印材料容纳部，其用于相对于结构印模(5)容纳和布置压印材料(6)；压印元件驱动部，其用于使尤其根据权利要求3、4、7或8中任一项构造的压印元件(8)沿着结构印模(5)运动。此外，本发明涉及对应的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 压印 结构 印模 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
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