[发明专利]一种TEM样品以及制备TEM样品的方法有效
| 申请号： | 201911001966.6 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN110554063B | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 邹锭 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/04 | 分类号： | G01N23/04;G01N1/28;G01N23/20008 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 杨华 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市洪山区东*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种TEM样品以及制备TEM样品的方法，包括：在待制备样品上形成保护层；沿所述保护层的两侧向所述待制备样品的中间部分减薄，并在其中一侧减薄至预设条件时，逐步缩小加工区域，以通过在墩子和薄区之间保留阶梯状的过渡区域来形成厚度均匀的薄区。由于墩子与薄区相连，且墩子位于薄区的两端，因此，通过保留阶梯状的过渡区域，可以逐步改变薄区边缘受到墩子拉力的受力点的位置，从而通过改变受力点位置可以减小薄区远离墩子的中间区域与靠近墩子的边缘区域的拉力差异，进而可以提高大范围薄区的均匀性，使得制备的TEM样品满足TEM自动拍图量测的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 tem 样品 以及 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种制备TEM样品的方法，其特征在于，包括：/n在待制备样品上形成保护层；/n沿所述保护层的两侧向所述待制备样品的中间部分减薄，并在其中一侧减薄至预设条件时，逐步缩小加工区域，以通过在墩子和薄区之间保留阶梯状的过渡区域来形成厚度均匀的薄区；/n其中，所述墩子位于所述薄区的两端，所述过渡区域的阶梯状部分位于所述薄区的减薄一侧。/n
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