[发明专利]液体分配喷嘴和基板处理装置有效
| 申请号： | 201911000687.8 | 申请日： | 2019-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN111077742B | 公开（公告）日： | 2023-09-05 |
| 发明（设计）人： | 崔炳斗;柳杨烈;吴东燮;白惠斌 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30 |
| 代理公司： | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人： | 侯志源 |
| 地址： | 韩国忠清南道天安*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明构思涉及一种液体分配喷嘴和一种用于处理基板的装置。液体分配喷嘴包括第一流体通道，其形成在喷嘴中，并且处理液流过该第一流体通道，和第二流体通道，其与第一流体通道连通，第二流体通道连接到喷嘴的分配端。第二流体通道具有大于第一流体通道的宽度，并且第一流体通道的中心轴线和第二流体通道的中心轴线以直线彼此连接。 | ||
| 搜索关键词： | 液体 分配 喷嘴 处理 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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