[发明专利]一种掺杂类石墨碳膜及其制备方法、工件有效
| 申请号： | 201910980090.8 | 申请日： | 2019-10-15 |
| 公开（公告）号： | CN110643943B | 公开（公告）日： | 2022-09-09 |
| 发明（设计）人： | 蔡海潮;薛玉君;贺江涛;李航;司东宏;叶军;杨芳;刘春阳;马喜强 | 申请（专利权）人： | 河南科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 郑州睿信知识产权代理有限公司 41119 | 代理人： | 胡云飞 |
| 地址： | 471003 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明属于表面工程技术领域，具体涉及一种掺杂类石墨碳膜及其制备方法、工件。本发明的掺杂类石墨碳膜由类石墨碳膜和掺杂元素组成，所述掺杂元素镧元素和钛元素；所述掺杂类石墨碳膜中镧元素的质量百分比为6.5～14％，钛元素的质量百分比为2～17％。本发明通过磁控溅射方法向类石墨碳膜中引入金属元素镧和钛形成掺杂类石墨碳膜，消除了成膜粒子在快速扩散时形成的空洞，使类石墨碳膜的力学性能得到增强，继而表现出优异的耐磨损性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掺杂 石墨 及其 制备 方法 工件 | ||
【主权项】：
1.一种掺杂类石墨碳膜，其特征在于，由类石墨碳膜和掺杂元素组成，所述掺杂元素镧元素和钛元素；所述掺杂类石墨碳膜中镧元素的质量百分比为6.5～14％，钛元素的质量百分比为2～17％。/n
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