[发明专利]一种等离子电源的射频方法

摘要

本发明涉及等离子电源技术领域，且公开了一种等离子电源的射频方法，操作步骤如下：等离子电源中采用射频溅射技术，且配备相应的匹配网络，并将工作气压降低；在射频溅射的过程中，为了获得高能量的摄像靶面的正离子流，置于放电中的靶子的表面必须有较高的负电位；在气体溅射过程中，该等离子电源的射频方法，通过将放电中的靶子的表面附加较高的负电位，从而吸引离子区中正离子向靶子移动，从而聚集大量的电荷，以施加粒子动能，而溅射气体中混合氧、氮、甲烷或一氧化氮、硫化氮等物质，会使气体浓度变低，从而提高溅射速率，且通过计算靶子与阳极罩之间的距离，调节粒子正确的移动空间，从而让粒子获得大量的动能。