[发明专利]一种水基环保中性清洗液在审
申请号: | 201910896782.4 | 申请日: | 2019-09-18 |
公开(公告)号: | CN110724604A | 公开(公告)日: | 2020-01-24 |
发明(设计)人: | 刘江华;付元涛;章小琴 | 申请(专利权)人: | 华璞微电子科技(宁波)有限公司 |
主分类号: | C11D1/72 | 分类号: | C11D1/72;C11D3/20;C11D3/43;C11D11/00;C11D3/60;G03F7/42 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 315500 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种水基环保中性清洗液,属于微电子材料用清洗液的技术领域,按重量百分比计,包括式I结构的烷基醇聚醚0.1‑25%、醇醚类溶剂0.1‑50%、醇类溶剂0.1‑25%,去离子水30‑99.7%, | ||
搜索关键词: | 清洗液 半导体晶圆 醇醚类溶剂 微电子材料 中性清洗液 重量百分比 醇类溶剂 去离子水 设备表面 先进封装 制造过程 烷基醇 基材 聚醚 清洗 环保 | ||
【主权项】:
1.一种水基环保中性清洗液,其特征在于,按重量百分比计,包括式I结构的烷基醇聚醚0.1-25%、醇醚类溶剂0.1-50%、醇类溶剂0.1-25%,去离子水30-99.7%,/n
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