[发明专利]高密封性高度可调电极在审

申请号：	201910893199.8	申请日：	2019-09-20
公开（公告）号：	CN110527985A	公开（公告）日：	2019-12-03
发明（设计）人：	杨永亮;李娜;张泓筠;陈亮;莫秋燕;付秀华;尤恩沃德尔	申请（专利权）人：	杨永亮
主分类号：	C23C16/50	分类号：	C23C16/50;C23C16/52
代理公司：	37245 济南鼎信专利商标代理事务所(普通合伙)	代理人：	曹玉琳<国际申请>=<国际公布>=<进入
地址：	556011 贵州省黔东南***	国省代码：	贵州;52
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摘要：	本发明公开了高密封性高度可调电极，主要涉及气相沉积技术领域。包括电极总成，所述电极总成包括电极盖板、绝缘体、锁紧环、电极架、电极冷却接口和电极体；还包括位移驱动装置总成；所述位移驱动装置总成包括外驱动件、内表面设置内螺纹的内从动轮、外护壳、与外护壳固定的支撑环、内部中空且外侧顶端设置外螺纹的传动管；所述外驱动件驱动内从动轮的转动，所述内从动轮的内螺纹与传动管顶端的外螺纹传动连接。本发明的有益效果在于：摒弃了现有的波纹管技术，采用新的技术实现电极的高度可调，而且解决了采用波纹管技术所带来的一系列不足，无需在设备上开固定孔、密封孔就可接入其他设备；而且增加了辐射泄露防护技术。
搜索关键词：	从动轮位移驱动装置电极总成高度可调外驱动件电极波纹管传动管内螺纹外护壳外螺纹绝缘体传动连接电极盖板电极冷却顶端设置防护技术高密封性技术实现内部中空气相沉积电极架电极体固定的固定孔密封孔内表面锁紧环支撑环转动泄露驱动辐射
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【主权项】：

1.高密封性高度可调电极，包括电极总成，所述电极总成包括电极盖板(1)、绝缘体(2)、锁紧环(3)、电极架(4)、电极冷却接口(5)和电极体(6)；所述电极盖板(1)底部边缘通过螺栓与绝缘体(2)固定，所述锁紧环(3)固定在绝缘体(2)内侧台面，所述电极架(4)通过螺栓固定到锁紧环(3)上，所述电极体(6)固定在电极架(4)上，所述电极冷却接口(5)设置在电极架(4)内侧；/n其特征在于：/n还包括位移驱动装置总成；所述位移驱动装置总成包括外驱动件(7)、内表面设置内螺纹的内从动轮(8)、外护壳(9)、与外护壳(9)固定的支撑环(10)、内部中空且外侧顶端设置外螺纹的传动管(11)；所述外驱动件(7)驱动内从动轮(8)的转动，所述内从动轮(8)的内螺纹与传动管(11)顶端的外螺纹传动连接，所述外护壳(9)底侧与支撑环(10)之间设有限转销(12)，所述传动管(11)上远离外螺纹的下段侧面设有竖槽(13)，所述限转销(12)配合插入竖槽(13)内；/n所述传动管(11)底部设有管下法兰(14)，所述传动管(11)通过管下法兰(14)与电极盖板(1)顶部固定。/n

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专利分类

C 化学；冶金

C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的

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