[发明专利]一种利用能谱分析无损检测试样膜厚的方法在审
| 申请号： | 201910816128.8 | 申请日： | 2019-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN110345889A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 马刘红;邵倩倩;李梦珂;钟英辉;段智勇 | 申请（专利权）人： | 郑州大学 |
| 主分类号： | G01B15/02 | 分类号： | G01B15/02 |
| 代理公司： | 郑州联科专利事务所(普通合伙) 41104 | 代理人： | 常娟 |
| 地址： | 450001 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种利用能谱分析无损检测试样膜厚的方法，利用不同成分的膜层在加速电子轰击下，会激发不同特征X射线的原理，对标块进行加速电子轰击，制定出膜层特征元素与膜厚之间的对应关系标准曲线，然后分析对待测试样进行加速电子轰击后得出的X射线的强度与频率，得到元素的含量，对比标准曲线，计算出膜层厚度。本发明仅采用常见的扫描电子显微镜和能谱仪，无需额外的检测特制辅助设备和配件投入，成本低且操作简单，适用于纳米及微米范围内，无机非金属、高分子和金属各类膜层，同时适用于单层、双层和三层复合膜层的膜厚检测，适用范围广，且不会对样品造成损坏。 | ||
| 搜索关键词： | 加速电子 轰击 能谱分析 无损检测 试样膜 出膜 膜层 扫描电子显微镜 三层复合膜 无机非金属 特征X射线 对比标准 辅助设备 关系标准 膜厚检测 特征元素 测试样 层厚度 能谱仪 标块 单层 膜厚 配件 金属 激发 检测 分析 制定 | ||
【主权项】：
1.一种利用能谱分析无损检测试样膜厚的方法，其特征在于，包括如下步骤：a.准备几组不同膜厚且膜厚都在纳米级至微米级范围内的标块、扫描电子显微镜和能谱仪，所述标块和待测试样为同种物质；b.利用扫描电子显微镜中指定工作参数的加速电子分别轰击所有标块，产生能谱信号，即特征X射线，能谱仪的检测器接收其信号并分析出标块上膜层的各组成元素的含量；c.根据不同膜厚的标块所得到的不同组成元素的含量，选取一个主要特征元素的含量，得出膜厚与膜层主要特征元素含量间的对应关系，制定出标准曲线，并将对应关系和标准曲线记录到数据库中；d.使用与上述工作参数相同的加速电子轰击试样表面，产生能谱信号，能谱仪的检测器接收其信号并分析出各组成元素的含量；e.根据测得的各组成元素的含量，选取与上述主要特征元素相同的元素，将其含量对照标准曲线，得出试样的膜厚。
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- 本发明公开了一种电磁波自动测厚装置，包括电磁波发射装置和电磁波接收装置，电磁波接收装置上设置有控制器，电磁波发射装置包括用于发射电磁波信号的发射探头、小型无人机和离心式风机，发射探头和离心式风机依次设置在小型无人机上，小型无人机通过第一无线遥控器控制其移动，电磁波接收装置包括用于接收电磁波信号的接收探头和小车，接收探头设置在小车上接收探头设置有三个，且三个接收探头等间距设置在一条直线上，接收探头与控制器电连接。使用该装置对楼板进行测量时，可直接将发射探头固定在楼板下端面上，不需要工作人员一直支撑，楼板上的接收探头可以自动寻找最小值从而确认楼板厚度，减少了人为的操作，提高了效率和准确度。
- 一种采用射线的自动标定装置及其标定方法-201910089241.0
- 谢起 - 佛山市宗生科技有限公司
- 2019-01-30 - 2019-04-23 - G01B15/02
- 本发明提供一种采用射线的自动标定装置，包括：用于作为射线源的射线探头；用于采集射线探头的电压数据，并通过电压数据进行计算标定的测厚仪系统；若干块标定板；标定部件；以及显示屏；射线探头、显示屏和标定部件分别与测厚仪系统连接；射线探头的下方设置为检测工位；若干块所述标定板与标定部件连接，标定部件以转动的方式将每块标定板传送至检测工位，实现射线探头通过射线对标定板进行穿透以获取电压数据。本发明不仅可快速实现标定以降低人手操作的劳动强度，而且可保证每块标定板与射线探头相对位置的一致性，从而提高标定精度及后续的测厚精度。本发明还提供一种快速、高效和可靠的采用射线的自动标定方法。
- PVD设备总成-201821748032.X
- 刘晓琴;车星光;王志鹤;刘云龙 - 东泰高科装备科技有限公司
- 2018-10-26 - 2019-04-23 - G01B15/02
- 本实用新型公开了一种PVD设备总成，包括PVD设备、第一传送带、X射线检测仪和第一机械手；PVD设备上设置有反应腔室；第一传送带用于从反应腔室将镀膜完成的膜片进行传送；第一机械手用于将镀膜完成的膜片在第一传送带X射线检测仪之间转移；X射线检测仪集成于PVD设备上，用于检测膜片上镀层的厚度。本实用新型中，该集成于PVD设备上的X射线检测仪，能够对膜片的镀层厚度进行实时检测。
- 一种基于X射线的金属表面渗层厚度无损检测装置及方法-201910033244.2
- 汪诚;安志斌;何家帮;周瑞祥 - 汪诚;安志斌;何家帮
- 2019-01-14 - 2019-04-02 - G01B15/02
- 本发明提供一种基于X射线的金属表面渗层厚度无损检测装置及方法，装置包括X射线发生器、X射线检测器、放大器、数据处理存储模块和显示器；方法首先制作具有不同渗层厚度的样件，利用装置计算得到样件的渗层元素含量，并通过扫描电镜方式对样件渗层厚度进行准确测量，建立渗层元素含量与渗层厚度对应数据表；其次采用装置获取待检测试件渗层元素含量，在预先标定好的渗层元素含量与渗层厚度对应数据表中插值解算得到待检测试件渗层厚度。本发明相比于现有渗层检方法，能够在不破坏试件的情况下快速检测得到扩散渗铝层的渗层厚度，可实现产品全检，大幅提高了工作效率。
- 测量水膜厚度的双曲余弦缝隙传感器及栅格隔离器的设计方法-201811496180.1
- 张淑娥;喻星源;杨再旺;张京席;宋文妙;范寒柏 - 华北电力大学（保定）
- 2018-12-07 - 2019-03-29 - G01B15/02
- 本发明公开了一种测量水膜厚度的双曲余弦缝隙传感器及栅格隔离器的设计方法，包括一个两端开口、中间有微波信号传输接口的圆筒形腔体，在圆筒形腔体内部的两端分别设置一个栅格隔离器，所述栅格隔离器由中间直线型金属条和1对以上关于中间直线型金属条对称分布的双曲余弦形金属条组成，它们靠近圆筒形腔体端口的一端与圆筒形腔体连接。本发明与微波信号处理电路配合，可以实现圆柱型金属内表面水膜、液膜厚度的微波测量；结构简单，使用方便，对环境的要求低，测量精度高；栅格隔离器结构开缝较大，可保证良好的流动特性，使取样准确；同时顺着谐振腔端面电流密度方向开口可保证良好的电磁性能和辐射性能。
- 一种镀层检测用的载物板-201710001861.5
- 武刚 - 武刚
- 2017-01-03 - 2019-03-26 - G01B15/02
- 本发明公开了一种镀层检测用的载物板，它包括一基板，基板的上端面上沿水平方向间隔设置有多个凹槽，其特征在于：所述基板的上方设有一平板，平板覆盖于全部凹槽的槽口上方，且所述平板上位于各凹槽所对应的位置分别设有与各自凹槽连通的检测通道，所述凹槽内设有一弹性支撑块，弹性支撑块位于产品的下端面和凹槽的槽底之间，用于推动产品上行至产品的上端面与平板的下端面贴合，且产品的待检测区域与平板上的检测通道相对应，所述基板上设有用于调节平板的下端面至水平状态的调节机构。本发明提供一种镀层检测用的载物板，其可以将多个磁片一次性投入检测仪器内，且相邻磁片之间的相对位移小。
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