[发明专利]一种高蚀刻速率及选择比的铝蚀刻液及其制备工艺在审
| 申请号： | 201910779513.X | 申请日： | 2019-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN110528004A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 梁小朝;连杰;姚浩川;黄德新 | 申请（专利权）人： | 合肥中聚合臣电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/20 | 分类号： | C23F1/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 231600 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高蚀刻速率及选择比的铝蚀刻液，包括磷酸、硝酸、盐酸、水和硝酸钾各原料，经比例混合而成，所述各原料重量比为：磷酸50～70％，硝酸10～20％，盐酸1～10％，水10～30％，硝酸钾1～8％，所述各原料重量比为磷酸70％，硝酸15％，盐酸3％，水10％，硝酸钾2％，所述磷酸浓度为85％，硝酸浓度为65％，盐酸浓度为89％，硝酸钾纯度高于99％，所述水为超纯水。本发明中，在磷酸、硝酸、醋酸的基础上，通过引入盐酸，使蚀刻液产生氧化性更强的氯化亚硝酰来加快蚀刻速率，避免了传统方法中添加的表面活性剂带来的泡沫问题，而同时还兼顾了铝蚀刻液的稳定性，蚀刻均匀性和蚀刻寿命，同时蚀刻液的配方具有简单易得，同时制备工艺简单，时刻效果理想的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 硝酸 硝酸钾 磷酸 盐酸 蚀刻 原料重量比 铝蚀刻液 蚀刻液 醋酸 表面活性剂 蚀刻均匀性 泡沫问题 效果理想 制备工艺 氯化 超纯水 选择比 氧化性 亚硝 配方 引入 | ||
【主权项】：
1.一种高蚀刻速率及选择比的铝蚀刻液，其特征在于,包括磷酸、硝酸、盐酸、水和硝酸钾各原料，经比例混合而成，所述各原料重量比为：磷酸50～70％，硝酸10～20％，盐酸1～10％，水10～30％，硝酸钾1～8％。/n
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