[发明专利]上下料设备

摘要

本发明公开了一种上下料设备，上下料设备包括载具、盖板循环机构、载具循环机构、上料机构以及下料机构，载具包括底座和盖板，载具经由载具循环机构向下游输送，下料机构和上料机构设置于载具循环机构的传送路径上，载具循环机构传送载具至第一预设位置时，盖板循环机构用于从底座上提取盖板，载具循环机构继续传送底座依次经过下料机构和上料机构以分别进行下料和上料，载具循环机构传送底座运动至第二预设位置时，盖板循环机构用于将盖板盖设在底座上。通过将载具循环机构、盖板循环机构、上料机构以及下料机构集成于一体，可以使得上下料设备的集成度较高，体积较小，且可以提升硅片的上下料效率。

主权项

1.一种上下料设备，其特征在于，所述上下料设备包括载具、盖板循环机构、载具循环机构、上料机构以及下料机构，所述载具包括底座和盖设在所述底座上的盖板，所述载具经由所述载具循环机构向下游输送，所述下料机构和所述上料机构设置于所述载具循环机构的传送路径上，所述载具循环机构传送所述载具至第一预设位置时，所述盖板循环机构用于从所述底座上提取所述盖板，所述载具循环机构继续传送所述底座依次经过所述下料机构和所述上料机构以分别进行下料和上料，所述载具循环机构传送所述底座运动至第二预设位置时，所述盖板循环机构用于将所述盖板盖设在所述底座上。